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TG390MOsaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵
參考價: 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • TG390M 產品型號
  • OSAKA大阪真空 品牌
  • 代理商 廠商性質
  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):199更新時間:2025-04-19 16:51:25

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產品簡介
產地類別 進口 產品類型 有油泵
價格區(qū)間 1萬-2萬 儀器種類 分子泵
應用領域 環(huán)保,化工,地礦,能源,電子/電池
Osaka大阪真空TG390M磁懸浮軸承型復合分子泵
Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵

特點:
■輕巧設計
 ■節(jié)能
 ■分子泵停止與啟動時間短
 ■附帶維護警報機能
 ■低振動
 ■無需調整
 ■自動校準
 ■可控制轉子旋轉速度
 ■大流量排氣
 ■多種通信模式
 ■符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE
產品介紹

Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵

Osaka大阪真空磁懸浮軸承型復合分子泵


 ■輕巧設計
 ■節(jié)能
 ■分子泵停止與啟動時間短
 ■附帶維護警報機能
 ■低振動
 ■無需調整
 ■自動校準
 ■可控制轉子旋轉速度
 ■大流量排氣
 ■多種通信模式
 ■符合安全規(guī)格 NRTL/SEMI-S2/CE


用途

?半導體制造

?電子槍排氣,離子源排氣
?FPD制造
?表面處理,表面改質
?各種電子部件的制造
?分析,試驗裝置
?管球制造,光學部件制造
?加速器,放射線設施,核聚變研究
?熱處理
?研究開發(fā)




吸氣口法蘭VG100
CF100
ISO-B100
排氣速度N2 (L/s)340
N2(附加金屬保護網) (L/s)320
H2 (L/s)290
最大壓縮比N21×108 
H24.5×103
極限壓力VG?ISO-B/CF (Pa)<1×10-6 / <1×10-7 
VG?ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大氣體流量※1N2 (sccm)2000
啟動時間(min) 2~3 
停止時間(min)4~5
允許輔助壓力(Pa / Torr)400 / 3
推薦輔助泵(L/min)≧160
安裝角度任意 
重量VG?ISO-B/CF(kg)  14/17
特殊規(guī)格
-耐腐蝕型
-耐反應生成物型 TG-MI
-極低振動型 TG-ML
  • ※1:輔助泵的容量是320L/min情況下的最大容許流量

  • [ 使用周囲溫度 ]

  • 極限壓力保證環(huán)境溫度是10~23℃。另外,容許環(huán)境溫度在空冷情況下是10~32℃,水冷情況下是10~40℃。極限壓力保證冷卻水溫在30℃以下時容許冷卻水溫是10~35℃。

  • [ 對應氣體種類 ]

  • 由于排氣的氣體種類不同,可能導致泵內零件的老化。
    關于對應的氣體種類請咨詢銷售人員。








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