在線光譜儀的核心技術(shù)全鏈路涵蓋色散元件、聚焦成像系統(tǒng)、探測(cè)器及信號(hào)處理系統(tǒng),各環(huán)節(jié)協(xié)同實(shí)現(xiàn)高精度光譜分析,具體拆解如下:
1.色散元件:光譜分離的基石
色散元件是光譜儀的核心部件,通過(guò)光的色散原理將復(fù)合光分解為單色光。常見(jiàn)類型包括:
光柵:利用衍射原理,通過(guò)周期性結(jié)構(gòu)使不同波長(zhǎng)光以不同角度偏轉(zhuǎn),實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)分離。其優(yōu)勢(shì)在于分辨率高、色散均勻,且適用于紫外到近紅外波段。但需配合濾光片消除多級(jí)次光譜的雜散光干擾。
棱鏡:基于不同波長(zhǎng)光的折射率差異進(jìn)行色散,短波長(zhǎng)光色散能力更強(qiáng)。其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低,但存在非線性色散和色散不均勻問(wèn)題,通常用于可見(jiàn)光波段。
PGP(棱鏡-光柵-棱鏡)組合:以光柵為核心,結(jié)合棱鏡實(shí)現(xiàn)線性色散,但制作成本較高,系統(tǒng)體積較大。
2.聚焦成像系統(tǒng):光信號(hào)的精準(zhǔn)傳遞
色散后的單色光需通過(guò)聚焦成像系統(tǒng)(如透鏡組)匯聚至探測(cè)器像面。系統(tǒng)需滿足廣角、大孔徑、寬波段要求,并消除色差以實(shí)現(xiàn)平像面成像,確保光譜線清晰分離。例如,ICP光譜儀采用中階梯光柵配合棱鏡交叉色散,兼顧光通量與分辨率。
3.探測(cè)器:光信號(hào)到電信號(hào)的轉(zhuǎn)換
探測(cè)器需具備高靈敏度、低噪聲和快速響應(yīng)特性:
CCD(電荷耦合器件):適用于寬波段檢測(cè),通過(guò)面陣或線陣結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高分辨率光譜采集。例如,VeritySD1024G光譜儀采用TEC制冷CCD,降低暗電流噪聲,提升信噪比。
光電二極管陣列:用于高速檢測(cè)場(chǎng)景,如LIBS光譜儀需在毫秒級(jí)時(shí)間內(nèi)完成元素分析,對(duì)探測(cè)器響應(yīng)速度要求高。
4.信號(hào)處理系統(tǒng):數(shù)據(jù)優(yōu)化與輸出
電信號(hào)經(jīng)放大、濾波后轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào),通過(guò)算法消除噪聲、校正波長(zhǎng)漂移,最終生成光譜圖像或數(shù)據(jù)。例如,光譜儀通過(guò)標(biāo)樣制定工作曲線,實(shí)現(xiàn)元素含量的定量分析。
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