曦源科學儀器（上海）有限公司
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當前位置：曦源科學儀器（上海）有限公司>>在線分析儀器>>質(zhì)量流量計>> S48-32氣體質(zhì)量流量控制器

氣體質(zhì)量流量控制器

參   考   價: ￥ 4000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號S48-32

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時間：2025-04-07 16:49:08瀏覽次數(shù)：150次

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產(chǎn)地類別 進口 產(chǎn)品種類 差壓式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應用領域 環(huán)保,食品/農(nóng)產(chǎn)品,化工,電子/電池,汽車及零部件 控制精度 ±1.0%
響應時間 ≤1 秒 通信接口 模擬電壓信號（0~5 VDC）或數(shù)字通訊（選配）
使用溫度 5～50°C 工作壓力 50～300 kPa
HORIBA的S48系列高精度(RS精度)/快速響應氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，簡稱MFC）廣泛應用于半導體制造、太陽能電池生產(chǎn)、真空鍍膜、分析儀器以及科研實驗等領域。

HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品概述

HORIBA S48系列氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），適用于多種氣體控制場合，兼具高精度、快速響應和高穩(wěn)定性，廣泛應用于半導體制造、分析儀器、真空工藝、環(huán)境監(jiān)測、光纖制造等領域。

產(chǎn)品特點

  • 安裝靈活：支持任意角度安裝，提升現(xiàn)場布局的自由度。

  • 高精度控制：采用多段線性調(diào)整技術，控制精度更高，調(diào)節(jié)比更寬。

  • 快速響應：T98響應時間小于1秒，滿足快速過程控制需求。

  • 自動零點調(diào)整：具備自動零點修正功能，有效補償環(huán)境變化帶來的偏差。

  • 多氣體兼容：可適用于N?、O?、Ar、He、H?等多種氣體。

  • 豐富的流量范圍：覆蓋10 SCCM至50 SLM，滿足從微量到大流量的不同應用。

技術規(guī)格

氣體質(zhì)量流量控制器

應用領域

  • 分析儀器：用于氣相色譜、光譜儀、質(zhì)譜儀等氣體控制部分。

  • 實驗室研究：氣體混合、等離子體實驗、化學反應氣體流量控制。

  • 半導體與真空工藝：PVD、CVD、刻蝕、擴散等工藝中的精密氣體輸送。

  • 太陽能電池制造：氣體沉積、氣氛控制。

  • 光纖制造：MCVD/VAD/OVD等工藝中對反應氣的精確控制。

  • 環(huán)境監(jiān)測：VOCs檢測、PM2.5分析、動態(tài)稀釋系統(tǒng)。

  • 爐窯控制：氣體配比、燃燒控制等工業(yè)過程。




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