曦源科學(xué)儀器（上海）有限公司
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質(zhì)量流量控制器

參   考   價: ￥ 7000

訂  貨  量: ≥1 件

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號HORIBA SEC-N112/122MGM

品       牌HORIBA/堀場

廠商性質(zhì)代理商

所  在  地上海市

更新時間：2025-04-10 11:27:55瀏覽次數(shù)：191次

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產(chǎn)地類別 進(jìn)口 產(chǎn)品種類 質(zhì)量式
價格區(qū)間 面議 介質(zhì)分類 氣體
應(yīng)用領(lǐng)域 環(huán)保,化工,電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件 控制范圍 10 SCCM 至 1000 SLM多種量程可選
通信模式和電源 多種可選 精度 +/- 1.0%
響應(yīng)時間 1s 功能 多氣體/多量程
HORIBA SEC-N100系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器適用于各種行業(yè)和應(yīng)用。該控制器可以控制不同范圍的流量：10 SCCM 至 1000 SLM。
HORIBA SEC-N100 系列數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品概述
　　SEC-N100 系列是 HORIBA 推出的高性能數(shù)字式質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller, MFC），廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、薄膜沉積、分析儀器、光電子、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域。該系列支持多種通信協(xié)議，具有較高的精度、快速響應(yīng)能力和強(qiáng)大的多氣體、多量程適應(yīng)能力，是新一代工藝控制系統(tǒng)的理想選擇。
 
產(chǎn)品特點
 
 支持多種通信方式 
  • 數(shù)字/模擬通信
  • DeviceNet™
  • CC-Link™
  • PROFIBUS™
  • EtherCAT®

高精度流量控制
  • 控制精度達(dá) ±1.0% of Set Point (*1)
  • 重復(fù)性好，穩(wěn)定性高

快速響應(yīng)性能
  • 響應(yīng)時間：≤1秒（T98）
  • 可變 PID 控制算法，確保不同氣體/不同流量下的穩(wěn)定輸出

多氣體/多量程功能
  • 支持用戶自定義更換氣體類型和滿量程（Full Scale）設(shè)定
  • 降低庫存成本，提高設(shè)備通用性和靈活性

高可靠性設(shè)計
  • 無運(yùn)動部件結(jié)構(gòu)，可靠性更高，適合長期穩(wěn)定運(yùn)行
  • 緊湊型設(shè)計，適配多種系統(tǒng)集成環(huán)境
技術(shù)規(guī)格

規(guī)格

選擇通信模式

選擇電源

SEC-N112MG

SEC-N122MG

SEC-N132MG

SEC-N142MG

SEC-N172R

數(shù)字通信

?RS485 F-NET協(xié)議

模擬通信

?0?5VDC

±15VDC（±5%）

HORIBA的陣容包括租賃電源PE系列。

SEC-N114MG

SEC-N124MG

SEC-N134MG

SEC-N144MG

SEC-N174R

DeviceNet™通信

符合ODVA標(biāo)準(zhǔn)

SEC-N115MG

SEC-N125MG

SEC-N135MG

SEC-N145MG

SEC-N175R

CC-Link®通信

模擬通信

?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA

符合CC-Link®標(biāo)準(zhǔn)24VDC（13至32VDC）

SEC-N116MG

SEC-N126MG

SEC-N136MG

SEC-N146MG

SEC-N176R

PROFIBUS™通信

模擬通信

?0到5VDC，0到10VDC 4到20mA

符合PROFIBUS™標(biāo)準(zhǔn)24VDC（13至32VDC）

SEC-N117MG

SEC-N127MG

SEC-N177R

EtherCAT®通信

符合EtherCAT®標(biāo)準(zhǔn)24VDC

適用行業(yè)與應(yīng)用場景
  • 半導(dǎo)體制程設(shè)備（如 CVD、Etching、PVD）
  • 光電子器件制造
  • OLED 面板制程
  • 醫(yī)療與生物制藥氣體控制
  • 化學(xué)反應(yīng)過程氣體定量注入
  • 實驗室氣體流量控制系統(tǒng)

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