光學(xué)輪廓儀通過光學(xué)原理實現(xiàn)對被測工件的表面輪廓尺寸和形貌的非接觸測量,測量精度達到納米級。 可應(yīng)用的范圍包括微小工件的臺階高差及凹槽深度的測量和表面粗糙度的測量。光學(xué)輪廓儀表面微觀形貌測量,對表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、孔隙間隙、臺階高度等表面形貌特征進行測量和分析。光學(xué)輪廓儀提供了強大的非接觸式光學(xué)表面分析的多功能性。它可以容易和快速地測量各種表面類型,包括光滑、粗糙、平坦、傾斜和階梯式的表面。所有的測量都是無損、快速、無需樣品制備的。
光學(xué)輪廓儀非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析,以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對2D輪廓或三維輪廓表面形貌和表面紋理,微米和納米形狀,圓盤,圓度,球度,臺階高度,距離,面積,角度和體積進行多范圍測量。光學(xué)輪廓儀采用白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對樣品表面進行快速、重復(fù)性高、高分辨率的三維測量,測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌,臺階高度,給MEMS、半導(dǎo)體材料、太陽能電池、醫(yī)療工程、制藥、生物材料,光學(xué)元件、陶瓷和材料的研發(fā)和生產(chǎn)提供了一個的、價格合理的計量方案。
光學(xué)輪廓儀受到人們歡迎的原因有哪些呢?
一、技術(shù)檢測穩(wěn)定且清晰
只要使用過光學(xué)輪廓儀的朋友都知道這個儀器的檢測技術(shù)是比較穩(wěn)定的并且檢測出現(xiàn)的結(jié)果也比較的清晰,而目前的設(shè)備也能滿足人們較高要求的檢測,不僅是光學(xué)的長度還是具有各種參數(shù)的檢驗。廠家對設(shè)備技術(shù)的投入足夠用心,也可以在很大程度上完善設(shè)備的檢測。再者光學(xué)輪廓儀口碑好也正是因為設(shè)備技術(shù)的穩(wěn)定性。
二、具有高質(zhì)量且可靠的結(jié)果
當(dāng)然使用光學(xué)輪廓儀進行檢測也可以得到非??煽康慕Y(jié)果。因為設(shè)備可以根據(jù)一些光學(xué)的原理以及自動化檢測技術(shù)對需要分析檢測的數(shù)據(jù)心有效的篩選并處理,這樣對于檢測的解決也會更加的,從而使得設(shè)備在檢測上的結(jié)果具有很大的可信度。也讓人們在選擇產(chǎn)品時可以放心。
總而言之正是因為光學(xué)輪廓儀的基本特點有這些才讓它受到如此多使用者的喜愛。設(shè)備的檢測技術(shù)穩(wěn)定并且檢測的結(jié)果也清晰可靠。與此同時廠家對儀器 升級操作卻從未停止,在相關(guān)技術(shù)的有效完善之外,人們對光學(xué)輪廓儀的研究也更加深入,所以設(shè)備的功能性以及穩(wěn)定性也更加具有使用價值。
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