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1、常用非接觸測厚儀主要為激光測厚儀和電渦流測厚儀 ，顧名思義就是測量儀器與被測物體非接觸測量 。
2、接觸式測厚儀要為機(jī)械式測量的需要通過點(diǎn)與點(diǎn)之間，或面與面后通過位移差來測量厚度。
薄膜、薄片厚度測試又該如何去選擇？
1、非接觸式測厚設(shè)備對測試試樣都有一定的選擇性，例如激光式測厚儀在適合的領(lǐng)域中能達(dá)到較高的測量精度，但用于檢測表面有著不同光澤度的試樣時會有較大的測試誤差，同樣該方法的測厚儀對試樣是否透明以及材料表面平整度（薄膜表面看似平整，放大后都是呈現(xiàn)一定凹凸）也有著比較強(qiáng)的選擇性。電容或電渦流式的測厚儀對金屬及非金屬的測試有著較大的誤差。總之，非接觸式測厚儀都有著自己擅長的檢測領(lǐng)域，在薄膜和金屬方面測試數(shù)據(jù)還是不能滿足的。
2、機(jī)械式測厚儀是一種接觸式測厚設(shè)備，多采用高精度傳感器，因?yàn)樗臏y試只和微小位移有關(guān)，所以對試樣沒有選擇性。按照薄膜厚度國標(biāo)GB/T6672要求測量面必須保證對薄膜材料表面施加0.1N-0.5N負(fù)荷壓力，機(jī)械式測厚儀的測試精度主要取決于位移傳感器的精度，環(huán)境溫度和風(fēng)速會影響傳感器的精度，因此必須在實(shí)驗(yàn)室環(huán)境內(nèi)使用。
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