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ICP光譜儀即電感耦合等離子體光譜儀，ICP發(fā)射光譜法是根據處于激發(fā)態(tài)的待測元素原子回到基態(tài)時發(fā)射的特征譜線對待測元素進行分析的方法。ICP發(fā)射光譜儀主要應用于無機元素的定性及定量分析。
高頻振蕩器發(fā)生的高頻電流，經過耦合系統(tǒng)連接在位于等離子體發(fā)生管上端，銅制內部用水冷卻的管狀線圈上。石英制成的等離子體發(fā)生管內有三個同軸氬氣流經通道。冷卻氣(Ar)通過外部及中間的通道，環(huán)繞等離子體起穩(wěn)定等離子體炬及冷卻石英管壁，防止管壁受熱熔化的作用。
與其他類型的光譜儀相比，ICP光譜儀具有以下優(yōu)點：
1. 多元素同時檢出能力?？赏瑫r檢測一個樣品中的多種元素。一個樣品一經激發(fā)，樣品中各元素都各自發(fā)射出其特征譜線，可以進行分別檢測而同時測定多種元素。
2. 分析速度快。試樣多數不需經過化學處理就可分析，且固體、液體試樣均可直接分析，同時還可多元素同時測定，若用光電直讀光譜儀，則可在幾分鐘內同時作幾十個元素的定量測定。
3. 選擇性好。由于光譜的特征性強，所以對于一些化學性質極相似的元素的分析具有特別重要的意義。如鈮和鉭、銑和鉿、十幾種稀土元素的分析用其他方法都很困難。
4. 檢出限低。一般可達0.1～1ug·g-1，絕對值可達10-8～10-9g。用電感耦合等離子體(icp)新光源，檢出限可低至 數量級。
5. 用icp光源時，準確度高，標準曲線的線性范圍寬，可達4～6個數量級。可同時測定高、中、低含量的不同元素。
6. 樣品消耗少，適于整批樣品的多組分測定，尤其是定性分析更顯示出*的優(yōu)勢。
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