壓縮空氣氣冷降溫方式在高低溫探針臺中具體是如何實現(xiàn)的？

來源：南京芯測軟件技術(shù)有限公司 2025年06月09日 13:27

壓縮空氣氣冷降溫方式在高低溫探針臺中通常通過以下具體方式實現(xiàn)：

1.氣體供應系統(tǒng)：外部的壓縮空氣源通過管道連接到探針臺的氣路系統(tǒng)。為保證氣體質(zhì)量，可能會先經(jīng)過過濾裝置，去除其中的雜質(zhì)、水分和油污等，防止這些污染物進入探針臺內(nèi)部影響降溫效果或損壞設備。同時，會配備壓力調(diào)節(jié)裝置，將壓縮空氣的壓力調(diào)整到合適范圍，以滿足探針臺的工作要求。

2.氣冷盤等冷卻部件：在探針臺的關(guān)鍵發(fā)熱部位，如樣品臺或卡盤下方，設置有氣冷盤。氣冷盤內(nèi)部通常設計有復雜的氣道結(jié)構(gòu)。壓縮空氣進入氣冷盤后，會沿著這些氣道均勻分布，然后通過氣冷盤上的出氣槽或小孔，以一定的流速和角度吹出，形成均勻的冷空氣流，直接作用于需要降溫的部位，如樣品或探針，帶走熱量。

3.溫度控制系統(tǒng)：為了精確控制降溫的程度和穩(wěn)定性，高低溫探針臺配備有溫度傳感器，實時監(jiān)測樣品臺或關(guān)鍵部位的溫度。溫度傳感器將溫度信號反饋給控制器，控制器根據(jù)預設的溫度值與實際測量值的差異，自動調(diào)節(jié)壓縮空氣的流量或壓力。例如，當溫度高于設定值時，增加壓縮空氣流量以增強降溫效果；反之，則減少流量，使溫度保持在設定的范圍內(nèi)。

4.循環(huán)與回收系統(tǒng)：部分先進的高低溫探針臺還會設計有氣體循環(huán)與回收系統(tǒng)。吹出的空氣在完成降溫任務后，通過特定的通道被收集起來，經(jīng)過處理（如過濾、除濕等）后，再次送入氣冷系統(tǒng)進行循環(huán)利用。這樣可以提高能源利用效率，減少壓縮空氣的消耗，同時也有助于維持工作環(huán)境的穩(wěn)定性。

5.腔室密封與防護：為了防止外部熱空氣進入和內(nèi)部冷空氣泄漏，探針臺的工作腔室通常具有良好的密封性能。同時，可能會采用隔熱材料對腔室進行包裹，減少熱量的傳遞，進一步提高降溫效果和溫度控制的精度，還能有效隔絕外部的空氣，防止大量的水蒸氣液化形成滴露，形成干燥的工作環(huán)境。

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