在半導體封裝工藝中,金線鍵合(Gold Wire Bonding)和銅線鍵合(Copper Wire Bonding)是芯片與封裝基板電氣互連的關鍵技術。鍵合強度直接影響器件的機械穩(wěn)定性和長期可靠性,若鍵合質量不達標,可能導致脫焊、線頸斷裂等問題,甚至引發(fā)整機失效。
如何精準評估鍵合強度?推拉力測試機(Bond Tester)是目前行業(yè)工認的檢測手段,可模擬實際工況下的機械應力,量化鍵合界面的結合力。本文科準測控小編將系統(tǒng)介紹推拉力測試的原理、行業(yè)標準、Alpha W260的關鍵技術及標準化測試流程,幫助封裝工程師掌握精準評估鍵合強度的方法。
一、推拉力測試的行業(yè)標準(JEDEC/MIL-STD/SEMI)
在半導體封裝領域,鍵合強度的評估需遵循嚴格的國際標準,以確保測試數(shù)據(jù)的可比性和可靠性。主要標準包括:
1、JEDEC JESD22-B116
適用于金線、銅線鍵合的剪切力(Shear Test)和拉力測試(Pull Test)。
規(guī)定最小鍵合強度要求:金線≥3gf/mil,銅線≥4-5gf/mil(視線徑而定)。
測試速度:100-500μm/s,避免動態(tài)沖擊影響數(shù)據(jù)準確性。
2、MIL-STD-883 Method 2011.7
jun用及高可靠性器件的鍵合強度測試規(guī)范。
要求高溫老化(如125℃/1000h)后鍵合強度衰減率≤15%。
3、SEMI G86(針對先進封裝)
適用于微間距鍵合(<50μm)和低弧度鍵合(Low Loop Bonding)。
引入非破壞性測試(NDT)方法,減少樣品損耗。
二、推拉力測試機的工作原理(剪切力/拉力模式)
Alpha W260采用高精度力學傳感器和智能控制算法,提供兩種核心測試模式:
1. 剪切力測試(Shear Test)
測試對象:評估鍵合球(Ball Bond)與芯片焊盤(Pad)的結合強度。
測試方式:
使用鎢鋼探針(直徑50-200μm)水平推動鍵合球,記錄剪切力峰值。
傳感器分辨率達0.001gf,確保微小鍵合點的精準測量。
典型失效模式:
脫焊(Lift-off):鍵合球與焊盤wan全分離,表明界面結合不良。
焊盤剝離(Pad Cratering):焊盤下方金屬層斷裂,通常與材料脆性有關。
2. 拉力測試(Pull Test)
測試對象:評估鍵合線(Wire)的拉伸強度及斷裂位置。
測試方式:
采用微型鉤爪垂直拉伸鍵合線,記錄斷裂力及斷裂位置(線頸/根部)。
支持動態(tài)力-位移曲線分析,識別材料延展性差異。
典型失效模式:
線頸斷裂(Neck Break):斷裂點位于鍵合球上方,通常與線材強度相關。
根部斷裂(Heel Break):斷裂發(fā)生在鍵合點根部,多因鍵合工具磨損導致。
三、常用檢測設備
1、Alpha W260推拉力測試儀
A、設備介紹
Alpha-W260自動推拉力測試機用于為微電子引線鍵合后引線焊接強度測試、焊點與基板表面粘接力測試及其失效分析領域的專用動態(tài)測試儀器,常見的測試有晶片推力、金球推力、金線拉力等,采用高速力值采集系統(tǒng)。根據(jù)測試需要更換相對應的測試模組,系統(tǒng)自動識別模組,并自由切換量程。
B、推刀或鉤針
C、常用工裝夾具
四、標準化測試流程(以Alpha W260為例)
步驟一、設備校準
力傳感器校準(NIST標準砝碼,五點校準)。
光學系統(tǒng)校準(USAF-1951分辨率靶標)。
步驟二、樣品測試
裝樣:真空吸附固定封裝樣品。
定位:自動識別鍵合點,確保探針精準接觸。
測試:
剪切模式:水平推動鍵合球,記錄峰值剪切力。
拉力模式:垂直拉伸鍵合線,分析斷裂模式。
數(shù)據(jù)存儲:保存力-位移曲線,支持JMP格式導出。
步驟三、數(shù)據(jù)分析
統(tǒng)計過程控制(SPC):計算Cp/Cpk,評估工藝穩(wěn)定性。
失效分析:自動分類失效模式(脫焊/線頸斷裂/焊盤剝離)。
五、案例:某封裝廠優(yōu)化鍵合工藝
問題:某QFN封裝產(chǎn)品銅線鍵合強度CV值>18%,超出管控標準(<10%)。
解決方案:
使用Alpha W260推拉力測試儀進行Mapping Test,發(fā)現(xiàn)邊緣區(qū)域鍵合強度偏低。
通過DOE實驗優(yōu)化參數(shù)(超聲功率80mW、鍵合溫度205℃、作用時間22ms)。
優(yōu)化后,鍵合強度均值提升33%(4.2gf→5.6gf),CV值降至6.8%。
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