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儀器基本原理
核心部件：PSD（Position Sensitive Detector），由 P 襯底、PIN 光電二極管及表面電阻組成，能測(cè)量光點(diǎn)在測(cè)量面上的連續(xù)位置變化，與 CCD 探測(cè)器相比，具有位置分辨率高、光譜響應(yīng)寬、響應(yīng)速度快等優(yōu)點(diǎn)
測(cè)量原理：以激光束為直線基準(zhǔn)，在空氣中沿理想直線傳播，通過 PSD 接收器測(cè)得被測(cè)對(duì)象表面或運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的位置偏移量，再由測(cè)量軟件根據(jù)各測(cè)量點(diǎn)偏移量計(jì)算得到各項(xiàng)參數(shù)。
功能與性能
- 測(cè)量功能：可測(cè)量直線度、平行度、垂直度、平面度、軸線偏移等，能同時(shí)測(cè)量高低和水平兩個(gè)方向，支持公差帶顯示、分段評(píng)價(jià)、數(shù)據(jù)比較，實(shí)時(shí)繪制誤差曲線圖，采用端點(diǎn)法、最小二乘、最小區(qū)域等算法。
產(chǎn)品特色
- 高精度雙軸 PSD 接收器，分辨率達(dá) 0.1μm。
一鍵調(diào)光，改變傳統(tǒng)調(diào)光方式，提高測(cè)量效率，一次可將兩端偏差調(diào)整到微米級(jí)。
長距離調(diào)光工具，微調(diào)分度值 0.5μm。
自動(dòng)測(cè)量單元 AMU80，測(cè)量距離 0.03m - 80m，精度 ±(1mm + 0.05% D)，輸出頻率最高 20Hz。
棱鏡 VP5 - 20，精度 90°±1″，可 3 個(gè)方向調(diào)節(jié)，適用于大跨距平行度與垂直度測(cè)量。
性能指標(biāo)：系統(tǒng)誤差（MPE）為 ±(1%?L + 1μm)，分辨率最高 0.1μm，棱鏡垂直偏差 ±1″，測(cè)量范圍 10mm×10mm（雙軸），最大測(cè)量距離 0 - 50m。
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