表面粗糙度檢測儀(共聚焦顯微鏡)采用多孔共聚焦技術(shù),結(jié)合ccd的影像攝取,以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,再將物鏡垂直移動,以類似斷層攝影方式,可在短時間(約幾秒)內(nèi)量測物體的三維數(shù)據(jù)。其測量方式是非接觸式,不會破壞樣品的表面,不需要在真空環(huán)境下測量,也可以用共聚焦顯微鏡測量的功能來觀測樣本,其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法,在測量漸變較大的高度時,跟其他方法相比,可以更量測物體高度,建立3d立體影像,優(yōu)勢相當(dāng)明顯。
精密測量、表面分析系統(tǒng)機(jī)臺功能齊全,結(jié)構(gòu)緊湊,,并擁有超高光學(xué)分辨率和Zui全面廣泛的三維表面形貌分析能力。
表面粗糙度檢測儀應(yīng)用
表面粗糙度檢測儀(共聚焦顯微鏡)用來測量表面物理形貌,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3d表面形貌、2d的縱深形貌、輪廓(縱深、寬度、曲率、角度)、表面粗糙度等。
1. 精密部件:檢測對表面磨損,表面粗糙度,表面微結(jié)構(gòu)有要求的0部件,比如發(fā)動機(jī)汽缸、刀口等;
2. 生命科學(xué):測量stents支架上鍍層厚度等
3. 微電子機(jī)械系統(tǒng):微型器件的檢測,醫(yī)藥工程中組織結(jié)構(gòu)的檢測,如基因芯片等
4. 半導(dǎo)體:檢測微型電子系統(tǒng),封裝及輔助產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計
5. 太陽能:電池片柵線的3d形貌表征、高寬比測量,制絨后3d形貌表征(單晶金字塔大小、數(shù)量、角度,多晶腐蝕坑形貌、密度),粗糙度分析等
6. 紙張:紙張、錢幣表面三維形貌測量
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