半導(dǎo)體行業(yè)的有害氣體排放標(biāo)準(zhǔn)

半導(dǎo)體行業(yè)的有害氣體排放標(biāo)準(zhǔn)主要包括以下幾個方面：

1. 大氣污染物排放限值：對于現(xiàn)有的污染源，自2022年1月1日起執(zhí)行新的排放限值；對于新的污染源，則自2022年2月1日起執(zhí)行2。

2. 揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）處理設(shè)施的低處理效率：對于VOCs排放速率大于h88%的設(shè)施，需達(dá)到低處理效率的要求2。

3. 全氟化物（PFCs）排放削減計劃：為了減少PFCs排放對環(huán)境的影響，集成電路制造企業(yè)應(yīng)制定PFCs排放的年削減計劃，并通過優(yōu)化工藝、原料替代、循環(huán)利用、污染治理等措施來減少PFCs的排放2。

4. 排氣筒高度要求：排氣筒高度不應(yīng)低于15米，并且應(yīng)高出周圍200米半徑范圍內(nèi)的建筑物至少5米以上。如果排氣筒高度無法達(dá)到這一要求，則應(yīng)按照其高度對應(yīng)的排放速率標(biāo)準(zhǔn)值嚴(yán)格50%執(zhí)行2。

5. 等效排氣筒的計算方法：對于排放相同污染物的排氣筒，如果它們之間的距離小于其幾何高度之和，則應(yīng)合并視為一根等效排氣筒。如果有三根以上的近距離排氣筒且排放同一種污染物時，應(yīng)從前兩根的等效排氣筒開始，依次與第三、四根排氣筒取等效值2。

6. 內(nèi)插法計算排放速率：如果某排氣筒的高度處于標(biāo)準(zhǔn)列出的兩個值之間，其執(zhí)行的最高允許排放速率可以通過內(nèi)插法計算得出。當(dāng)排氣筒高度大于標(biāo)準(zhǔn)列出的最大值（30米）時，應(yīng)按照最大排氣筒高度對應(yīng)的最高允許排放速率執(zhí)行2。

7. 監(jiān)測采樣點(diǎn)設(shè)置：污水采樣點(diǎn)位設(shè)置應(yīng)符合HJ/T91的規(guī)定，在排放口應(yīng)設(shè)置排污口標(biāo)志、污水水量計量裝置。廢水監(jiān)測采樣方案設(shè)計應(yīng)符合GB/T12997的規(guī)定。廢氣排氣筒中氣態(tài)污染物監(jiān)測的采樣點(diǎn)數(shù)目及采樣點(diǎn)位置的設(shè)置，按GB/T16157執(zhí)行2。

8. 采樣時間和頻次：排氣筒中廢氣樣品采集（不包括氨的排放速率監(jiān)測）以連續(xù)1小時的采樣獲取平均值；或在1小時內(nèi)，以等時間間隔采集4個樣品，并計平均值。特殊情況下廢氣的采樣時間和頻次假設(shè)某排氣筒的排放為間斷性排放，排放時間小于1小時，應(yīng)在排放時段內(nèi)實行連續(xù)采樣，或在排放時段內(nèi)以等時間間隔采樣2-4個樣品，并計平均值2。

9. 分析方法：污染物的分析方法按表5和表6執(zhí)行2。

請注意，這些標(biāo)準(zhǔn)可能會隨著時間和地區(qū)的不同而有所變化。因此，在實際操作中，請務(wù)必查閱最新的文件以獲取最準(zhǔn)確的信息