該真空計(jì)從傳統(tǒng)的控制器(傳感器單元)中除去操作·顯示部,最大限度凝縮精簡功能,使「降成本」和「省空間」成為可能。
特點(diǎn)
測(cè)量范圍:可以進(jìn)行從大氣壓到5×10-2 Pa
抗沖擊性提高:具有高抗沖擊性的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(正在申請(qǐng))
優(yōu)異的大氣壓精度:無論真空計(jì)的安裝位置如何,精度均在±20%以內(nèi)(日本第4878289號(hào))
燈絲材料·鉑(Pt):由高度耐腐蝕的鉑制成的燈絲
可視化程度提高:配備可確認(rèn)異常的LED
一觸式調(diào)整:一鍵式即可進(jìn)行大氣壓力調(diào)整和零點(diǎn)調(diào)整
維護(hù):更換測(cè)定子更輕松
適用測(cè)定子擴(kuò)展:除了NW16 / 25規(guī)格外,還將Φ15/ 18規(guī)格,拼接法蘭規(guī)格和錐形螺絲R1 / 8規(guī)格添加到產(chǎn)品陣容中
用途
太陽能電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備
用于設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
用于有振動(dòng)?沖擊的各種真空排氣系統(tǒng)
相關(guān)產(chǎn)品
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