XULM 240費(fèi)希爾X射線熒光測(cè)厚儀信息

適配不同行業(yè)的檢測(cè)場(chǎng)景，XULM 240采用高度模塊化的硬件架構(gòu)，其核心檢測(cè)單元搭載與高型號(hào)同源的硅漂移探測(cè)器（SDD），能量分辨率可達(dá) 125eV（針對(duì) Mn Kα 線），能精準(zhǔn)區(qū)分相鄰元素的特征 X 射線信號(hào)，為鍍層成分分析提供可靠數(shù)據(jù)支撐。

在測(cè)量附件方面，儀器提供全系列準(zhǔn)直器選擇（從 φ0.1mm 到 φ5mm），其中 φ0.1mm 的微準(zhǔn)直器可聚焦 X 射線束至發(fā)絲粗細(xì)，專(zhuān)門(mén)用于測(cè)量半導(dǎo)體芯片的金線鍍層、精密傳感器的電極鍍層等微型結(jié)構(gòu)；濾波器模塊則包含 Al、Cu、Ti 等多種材質(zhì)，可根據(jù)鍍層類(lèi)型（如厚鍍層選高吸收濾波器，薄鍍層選低吸收濾波器）靈活切換，減少背景干擾。X 射線管支持 50kV/1mA 的功率輸出，可選配微聚焦 X 射線管（焦點(diǎn)尺寸≤50µm），配合特殊設(shè)計(jì)的測(cè)角儀，甚至能對(duì)直徑僅 100µm 的微型孔內(nèi)壁鍍層進(jìn)行非接觸式測(cè)量，突破了傳統(tǒng)儀器對(duì)微小結(jié)構(gòu)的檢測(cè)限制。

此外，儀器還預(yù)留了擴(kuò)展接口，可根據(jù)需求加裝自動(dòng)進(jìn)樣器、溫濕度控制模塊或氮?dú)獗Ｗo(hù)裝置，進(jìn)一步拓展在高溫高濕環(huán)境、易氧化樣品等特殊場(chǎng)景中的應(yīng)用能力，真正實(shí)現(xiàn) “一臺(tái)設(shè)備覆蓋全生產(chǎn)鏈檢測(cè)需求”。