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半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

來(lái)源:信德邁科技(北京)有限公司   2025年07月22日 08:45  

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

——從零部件到整機(jī),國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的崛起之路

一、半導(dǎo)體設(shè)備:芯片制造的基石,國(guó)產(chǎn)化率不足20%

半導(dǎo)體設(shè)備是芯片制造的“母機(jī)”,直接決定芯片性能與產(chǎn)能。2022年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)1076億美元,中國(guó)大陸以283億美元成為頭部市場(chǎng),但國(guó)產(chǎn)化率僅約15%-20%

核心設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率分布

光刻機(jī):<1%

量測(cè)設(shè)備:<5%

離子注入設(shè)備:<10%

薄膜沉積設(shè)備:<20%

刻蝕設(shè)備:>30%

清洗設(shè)備:>30%

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

二、零部件:半導(dǎo)體設(shè)備的卡脖子環(huán)節(jié)

半導(dǎo)體設(shè)備中90%成本來(lái)自零部件,但頭部零部件國(guó)產(chǎn)化率普遍低于10%

真空閥門(mén)

日本SMC、瑞士VAT壟斷,國(guó)產(chǎn)化率<1%

射頻電源

美國(guó)MKS、AE壟斷全球87%份額

靜電吸盤(pán)

日本京瓷、美國(guó)AMAT壟斷,國(guó)產(chǎn)化率<1%

國(guó)產(chǎn)突破:

江豐電子

靶材國(guó)產(chǎn)化率超50%,打入臺(tái)積電5nm供應(yīng)鏈

英杰電氣

射頻電源獲中微公司認(rèn)證,2023年訂單超9000萬(wàn)元

新萊應(yīng)材

高純氣體管路系統(tǒng)進(jìn)入長(zhǎng)江存儲(chǔ)供應(yīng)鏈

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

三、薄膜沉積設(shè)備:CVD/PVD國(guó)產(chǎn)化加速

薄膜沉積設(shè)備占晶圓廠設(shè)備投資的25%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模172億美元:

技術(shù)路線

PECVD(等離子體增強(qiáng)):占比34%

ALD(原子層沉積):先進(jìn)制程核心

國(guó)產(chǎn)進(jìn)展拓荊科技

PECVD設(shè)備打入中芯國(guó)際14nm產(chǎn)線,2022年?duì)I收17億元

北方華創(chuàng)

PVD設(shè)備在長(zhǎng)江存儲(chǔ)份額超20%

中微公司

MOCVD設(shè)備全球市占率超60%

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

四、量檢測(cè)設(shè)備:芯片良率的守護(hù)者

量檢測(cè)設(shè)備占設(shè)備投資的11%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模104億美元:

/暗場(chǎng)檢測(cè)

明場(chǎng)檢測(cè):用于圖形晶圓,精度要求高

暗場(chǎng)檢測(cè):用于無(wú)圖形晶圓,速度快

國(guó)產(chǎn)突破中科飛測(cè)

無(wú)圖形檢測(cè)設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率超70%

上海精測(cè)

明場(chǎng)檢測(cè)設(shè)備獲長(zhǎng)江存儲(chǔ)訂單

睿勵(lì)儀器

膜厚量測(cè)設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際產(chǎn)線

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

五、CMP設(shè)備:晶圓平坦化的精密磨床

CMP設(shè)備占設(shè)備投資的4%,2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

技術(shù)壁壘

納米級(jí)平整度控制(相當(dāng)于天安門(mén)廣場(chǎng)起伏<0.03mm

國(guó)產(chǎn)突破華海清科

12英寸CMP設(shè)備市占率25%2022年?duì)I收16億元

爍科中科信

8英寸CMP設(shè)備進(jìn)入華虹供應(yīng)鏈

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

六、離子注入機(jī):芯片摻雜的精準(zhǔn)注射器

離子注入機(jī)占設(shè)備投資的3%2022年全球市場(chǎng)規(guī)模18億美元:

技術(shù)分類(lèi)

中低束流:占比60%

高能離子:占比18%

國(guó)產(chǎn)突破萬(wàn)業(yè)企業(yè)(凱世通)

低能大束流設(shè)備獲長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)訂單

中科信

中束流設(shè)備進(jìn)入中芯國(guó)際產(chǎn)線

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

七、國(guó)產(chǎn)設(shè)備廠商:從“01”的突圍者

1. 平臺(tái)型龍頭

北方華創(chuàng)

覆蓋刻蝕、PVD、CVD7大類(lèi)設(shè)備,2022年半導(dǎo)體設(shè)備收入130億元

中微公司

CCP刻蝕設(shè)備打入臺(tái)積電5nm產(chǎn)線

2. 細(xì)分賽道

拓荊科技

PECVD設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率32%

華海清科

CMP設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率25%

盛美上海

清洗設(shè)備國(guó)內(nèi)市占率23%

半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化突圍戰(zhàn):百億美元市場(chǎng)的“破壁者”

八、未來(lái)展望:國(guó)產(chǎn)化的三大突破口

成熟制程

55-28nm產(chǎn)線國(guó)產(chǎn)設(shè)備覆蓋率已達(dá)50%

先進(jìn)封裝

華為芯片堆疊推動(dòng)封裝設(shè)備需求

零部件配套

射頻電源、真空閥門(mén)等加速替代

半導(dǎo)體設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化不是選擇題,而是生存題。

——中微公司董事長(zhǎng)尹志堯


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