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氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)工作原理與關(guān)鍵性能指標(biāo)解析

來(lái)源:北京華丞電子有限公司   2025年07月23日 12:00  
  氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)是一種用于精確測(cè)量和控制氣體質(zhì)量流量的設(shè)備,其核心原理基于熱傳導(dǎo)或壓差測(cè)量技術(shù)。熱式MFC通過(guò)加熱元件與溫度傳感器組合實(shí)現(xiàn)流量檢測(cè):氣體流經(jīng)傳感器時(shí)帶走熱量,導(dǎo)致上下游溫度傳感器產(chǎn)生溫差,該溫差與氣體質(zhì)量流量成正比,控制器通過(guò)調(diào)節(jié)加熱功率維持溫差恒定,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)流量閉環(huán)控制。壓差式MFC則利用層流元件將氣體轉(zhuǎn)化為規(guī)則層流,通過(guò)測(cè)量節(jié)流裝置前后的壓力差計(jì)算體積流量,并結(jié)合溫度、壓力傳感器數(shù)據(jù)換算為標(biāo)準(zhǔn)狀況下的質(zhì)量流量。
  MFC的關(guān)鍵性能指標(biāo)直接影響其應(yīng)用效果:
  精度與穩(wěn)定性:頂級(jí)MFC需在全量程范圍內(nèi)保持±0.3%F.S.(滿量程)甚至更高精度,并通過(guò)多參數(shù)補(bǔ)償算法抑制溫度、壓力波動(dòng)導(dǎo)致的零點(diǎn)漂移,確保長(zhǎng)期運(yùn)行的工藝重復(fù)性。
  響應(yīng)速度:以毫秒級(jí)(T90<1秒)響應(yīng)動(dòng)態(tài)流量變化為核心,滿足半導(dǎo)體刻蝕、燃料電池測(cè)試等高頻切換場(chǎng)景需求。
  量程比:寬量程比(如100:1)可覆蓋微小流量至大流量需求,簡(jiǎn)化系統(tǒng)設(shè)計(jì)并降低設(shè)備成本。
  介質(zhì)兼容性:采用316L不銹鋼流道、特殊合金密封及抗腐蝕鈍化處理,兼容高純氣體、腐蝕性氣體(如Cl?、WF?)及易燃易爆氣體(如H?、SiH?)。
  控制性能:內(nèi)置自適應(yīng)PID算法實(shí)現(xiàn)快速、平穩(wěn)、無(wú)超調(diào)的流量調(diào)節(jié),確保流量突變后迅速恢復(fù)穩(wěn)定。
  此外,MFC的零點(diǎn)穩(wěn)定性、平均時(shí)間(MTBF)及數(shù)字通信能力(如RS485/Modbus、EtherCAT)也是評(píng)估其性能的重要維度。

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