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觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器的科學原理與實際應用

來源:蘇州源水凈化設備有限公司   2025年07月25日 10:37  
  觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器是一種基于光散射技術的精密儀器,廣泛應用于潔凈度檢測和空氣質(zhì)量控制領域。
  一、觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器科學原理
  1. 核心工作機制——Mie散射理論
  當激光束照射到空氣中懸浮的顆粒物時,會發(fā)生光散射現(xiàn)象(遵循Mie理論)。不同粒徑的粒子會產(chǎn)生特定強度的光信號:
  小顆粒(<1μm):以瑞利散射為主,散射光強隨粒徑增大而增強;
  大顆粒(>1μm):符合幾何光學規(guī)律,散射光強趨于穩(wěn)定。
  通過測量散射光的強度分布,可反推出粒子的大小和數(shù)量濃度。
  2.校準與補償算法
  內(nèi)置ISO 21501-4標準參考物質(zhì)進行定期自校準,修正溫度漂移導致的誤差;
  應用Shephard修正因子消除重疊通道間的干擾,提升多分散體系的測量精度。
  二、觸屏激光塵埃粒子計數(shù)器實際應用場景
  1.半導體制造行業(yè)
  工藝環(huán)境監(jiān)控:在晶圓清洗、光刻等工序段持續(xù)監(jiān)測Class 1~10級無塵室中的≥0.1μm微粒污染水平;
  設備性能驗證:評估FFU風機過濾單元的效率衰減情況,指導濾芯更換周期優(yōu)化;
  故障診斷支持:突發(fā)性粒子超標報警可定位到具體工具機的異常振動源或材料破損點。
  2.生物醫(yī)藥領域
  GMP車間動態(tài)分級測試:對無菌灌裝線的層流罩進行在線監(jiān)測,確保符合EU GMP Annex 1要求;
  滅菌效果驗證:比較輻照前后空氣中微生物載體粒子的變化量,間接反映Cobalt-60滅菌穿透性;
  隔離系統(tǒng)完整性檢查:通過挑戰(zhàn)測試檢測手套端口等關鍵部位的泄漏風險。
  3.材料科學研究
  納米粉體表征:分析氣相合成法制備的碳納米管團聚狀態(tài)及其空氣動力學直徑分布;
  噴霧干燥優(yōu)化:實時反饋霧化過程中液滴固化形成的微球粒度均一性指標PDI值;
  過濾器研發(fā)測試:評價新型靜電紡納米纖維膜對超細顆粒物的截留譜圖特征。
  4.工業(yè)過程控制
  IAQ管理:辦公大樓通風系統(tǒng)的PM2.5/PM10濃度梯度測繪,指導新風量調(diào)節(jié)策略制定;
  印刷車間防爆預警:監(jiān)控調(diào)墨區(qū)可燃性粉塵云的形成閾值,聯(lián)動聯(lián)鎖裝置切斷點火源;
  食品包裝線衛(wèi)生審計:量化生產(chǎn)線上方沉降菌攜帶的惰性顆粒污染物基數(shù)。
 

 

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