美國lesker RGA系列KJLC剩余氣體分析儀產(chǎn)品特征
美國lesker RGA系列KJLC剩余氣體分析儀是一種具有成本效益的RGA,是市場上可檢測到的局部壓力(MDPP)之一。
美國lesker RGA系列KJLC剩余氣體分析儀產(chǎn)品特征如下:
2.6x10 -12具有FC和1.5x10 -14的Torr最小可檢測的局壓(MDPP)和EM的1.5x10 -14最小可檢測的局壓(MDPP)
100和200 AMU選項(xiàng)
可用的Labview驅(qū)動(dòng)程序可用
訪問API命令進(jìn)行系統(tǒng)集成
泄漏檢測
泵向下和烘烤監(jiān)控
氣體和污染物識別
真空系統(tǒng)診斷
過程監(jiān)控和控制
美國lesker RGA系列KJLC剩余氣體分析儀規(guī)格表:
技術(shù)殘留氣體分析儀
質(zhì)量范圍1.00-200 AMU
靈敏度3.000 x 10 -4 A/Torr
壓力最小可檢測的部分,電子多機(jī)
2.000 x 10 -14 MBAR
1.500 x 10 -14 TORR
最小可檢測的部分,法拉第杯
3.500 x 10 -12 MBAR
2.600 x 10 -12 TORR
操作
5.000 x 10 -4 mbar
5.000 x 10 -4 mbar 5.000 x 10 -4 torr
溫度烘焙(無電子設(shè)備)
300oC572oF
最大運(yùn)營, 電子
乘數(shù)
150oC302oF最大運(yùn)營,法拉第杯 200oC392oF
傳感器
安裝法蘭DN35CF-DN40CF(2.75英寸 / 69.85毫米OD)
細(xì)絲
保護(hù)內(nèi)置壓力板,以在達(dá)到壓力閾值時(shí)自動(dòng)關(guān)閉排放
分辨率 -
峰高的10%的峰寬度(AMU)0.9
質(zhì)量2處的 零爆炸干擾<100
標(biāo)準(zhǔn)
通信以太網(wǎng)連接;具有靜態(tài)或自動(dòng)分配的IP地址
軟件
內(nèi)置Web界面,用于監(jiān)視,控制和數(shù)據(jù)采集;無需下載軟件
附加
命令接口演示lavview驅(qū)動(dòng)程序和最終用戶構(gòu)建命令協(xié)議API的全面訪問
I/O和繼電器的 電連接器標(biāo)準(zhǔn)15引腳子D
擴(kuò)展62引腳子D
電源
輸入20-30 VDC
24 VDC典型
電源
連接閂鎖,4針Din連接器,內(nèi)部與系統(tǒng)地面內(nèi)部隔離
傳感器長度
(真空側(cè))(mm)5.63(143)
(mm)中的電子尺寸
(L x WXH)6.69 x 4.53 x 4.79(170 x 115 x 121)
重量
磅(kg)6.00(2.72)
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