nasgiken簡易微量金屬污染物回收裝置

產(chǎn)品特點

• 自動化操作：設備可以自動完成采樣液的供給、支架具的裝卸以及采樣液的回收，從而減少操作員引起的污染。
• 多種采樣模式：通過與計算機聯(lián)機，可選擇豐富多樣的采樣模式，包括圓環(huán)形、扇形、固定半徑、圓弧等，還能對晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進行采樣操作。
• 適用性廣泛：對于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導致表面粗糙的晶圓也可進行采樣操作。
• 減少人為污染：采樣操作由設備自動完成，無需熟練工就可輕松完成采樣操作。
• 自動清洗功能：具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。

技術規(guī)格

• 操作控制：通過電腦完成。
• 外形尺寸：以SC-9200為例，其外形尺寸為690×550×790mm。
• 重量：SC-9200的重量為55Kg。
• 外部資源：需要電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。

應用場景

優(yōu)勢

• 提高分析效率和準確性：通過減少人為污染和提高采樣精度，有助于提高半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
• 專的利技術：擁有對硅晶圓端面污染物采樣的“端面采樣”技術已取得國際專的利，對親水晶圓的采樣技術也已取得國內(nèi)專的利。
• 完善的售后服務：原則上，有海內(nèi)外的維修委托時，在48小時內(nèi)與用戶進行聯(lián)系溝通。

型號對比