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尼康干涉物鏡50X參數(shù)介紹
尼康干涉物鏡50X參數(shù)介紹
尼康干涉物鏡有2.5x/5x/10x/20x/50x/100x
50X干涉物鏡使用說(shuō)明：
主要用于非接觸光學(xué)壓型測(cè)量設(shè)備，通過(guò)分析樣品表面反射光的干涉圖案，獲取表面位圖及測(cè)量參數(shù)，測(cè)量精度可達(dá)波長(zhǎng)級(jí)別。以下是具體使用說(shuō)明：
測(cè)量原理
光束通過(guò)分光鏡分成兩路：一路直接照射樣品表面，另一路反射至內(nèi)置反光鏡。兩路光在樣品表面反射后重新結(jié)合，形成干涉圖案。與Mirau鏡頭相比，Michelson鏡頭具有更長(zhǎng)工作距離、更寬視場(chǎng)和更大焦深，適合大范圍測(cè)量；Mirau鏡頭則適用于高倍率或需大數(shù)值孔徑的場(chǎng)景
干涉物鏡 | ||||||
2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | |
工作距離（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
NA（數(shù)值孔徑） | 0.055 | 0.15 | 0.30 | 0.45 | 0.55 | 0.7 |
FOV（mm）1 | 5093×3818 | 2546×1909 | 1270×950 | 637×477 | 254×190 | 127×95 |
空間采樣（mm）2 | 6.64 | 3.32 | 1.62 | 0.83 | 0.33 | 0.17 |
光學(xué)分辨率 藍(lán)光（L&S）（mm）3 | 2.55 | 0.93 | 0.46 | 0.31 | 0.25 | 0.20 |
光學(xué)分辨率 白光（L&S）（mm）3 | 3.04 | 1.11 | 0.56 | 0.37 | 0.30 | 0.24 |
大坡度4 | 3.05o | 8.6o | 14o | 21o | 25o | 42o |
垂直分辨率（nm）PSI7垂直分辨率（nm）ePSI7 | <0.1nm（PZT 0.01nm） | |||||
垂直分辨率（nm）VSI7 | 1nm5mm | |||||
垂直范圍PSI(mm) | 5mm | |||||
垂直范圍ePSI(mm) | 100mm | |||||
垂直范圍VSI(mm) | 10mm | |||||
掃描速率（mm/s） | PSI：3-15mm/s VSI/ePSI：4-18mm/s | |||||
一般測(cè)量時(shí)間（s）9 | PSI：3s VSI：10s ePSI：30s | |||||
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