利用紅外光學(xué)顯微鏡檢測芯片鍵合與封裝內(nèi)部缺陷

在半導(dǎo)體行業(yè)飛速發(fā)展的今天，MEMS（微機電系統(tǒng)）芯片和先進封裝TSV、TGV工藝的復(fù)雜性日益提升。鍵合（Bonding）和封裝（Packaging）作為確保芯片性能與可靠性的關(guān)鍵工藝，其內(nèi)部任何微小的缺陷，如界面空洞、裂紋、對齊偏差等，都可能導(dǎo)致最終產(chǎn)品的失效。然而，這些缺陷深藏于芯片內(nèi)部，傳統(tǒng)的可見光顯微鏡對此無能為力。

紅外光學(xué)顯微鏡

穿透視野，揭示隱藏世界

紅外光學(xué)顯微鏡成為了解決這一行業(yè)痛點的關(guān)鍵技術(shù)。其工作原理基于硅材料對特定波長的紅外光具有透性。當(dāng)可見光被硅材料阻擋時，紅外光卻能穿透硅晶圓，使工程師能夠在不破壞樣品的情況下，直接觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)，實現(xiàn)真正的無損檢測。

徠卡顯微系統(tǒng)半導(dǎo)體應(yīng)用分享

01 ·在原有DM金相顯微鏡的基礎(chǔ)上，采用最高1500nm波長的LED窄波段紅外光源。與此前常用的1100-1300nm鹵素?zé)舨ǘ蜗啾龋?strong>1500nm紅外光對硅的穿透能力更強，可適用于更厚的疊加結(jié)構(gòu)或多材料混合，為觀察深層鍵合界面和復(fù)雜封裝內(nèi)部提供了可能。

02 ·徠卡顯微系統(tǒng)的N PLAN BD和FLORTA BD系列物鏡經(jīng)過實際測試：能滿足在1500波段的清晰成像?？蛻粲辛烁奖愕氖褂皿w驗：在使用可見光觀察表面和紅外光觀察內(nèi)部的需求，僅使用一臺顯微鏡即可滿足，無需拆卸物鏡。

實際案例1：LED面板內(nèi)部缺陷分析-使用徠卡顯微系統(tǒng)DM4M拍攝（0.5毫米穿透厚度）

實際案例2：MEMS芯片鍵合后內(nèi)部缺陷檢測-使用徠卡顯微系統(tǒng)DM6M拍攝（1毫米穿透厚度）

相關(guān)產(chǎn)品

DM4M / DM6M

Visoria M實驗室顯微鏡

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