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S neox 結(jié)構(gòu)與參數(shù)：細(xì)節(jié)里的測(cè)量保障
S neox 采用臺(tái)式一體化設(shè)計(jì)，尺寸約 600mm×500mm×750mm，重量控制在 70kg 以?xún)?nèi)，普通操作臺(tái)即可放置，節(jié)省空間。機(jī)身外殼選用高強(qiáng)度鋁合金，經(jīng)陽(yáng)極氧化處理，兼具抗腐蝕與防光反射能力，減少環(huán)境對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的干擾。核心光學(xué)系統(tǒng)密封在防塵防霧艙內(nèi)，避免灰塵水汽影響成像質(zhì)量，鏡頭接口標(biāo)準(zhǔn)化，兼容六種常用物鏡，更換無(wú)需復(fù)雜校準(zhǔn)。
樣品臺(tái)為設(shè)備關(guān)鍵結(jié)構(gòu)之一，采用精密滾珠導(dǎo)軌，表面覆蓋耐磨涂層，移動(dòng)順滑且長(zhǎng)期保持精度。其 X、Y 軸移動(dòng)范圍均為 100mm，Z 軸 50mm，搭配高精度光柵尺，移動(dòng)精度達(dá) 0.1μm，可承載從 5mm 微型鏡片到 80mm 半導(dǎo)體晶圓的多樣樣品。以下為核心參數(shù)表：
參數(shù)類(lèi)別 | 具體參數(shù) |
測(cè)量技術(shù) | 共聚焦顯微鏡 + 白光干涉技術(shù) |
橫向分辨率 | 0.12μm（100x 物鏡） |
縱向分辨率 | 0.1nm（白光干涉模式） |
掃描深度 | 單次最大 8mm（多焦面疊加模式） |
樣品臺(tái)承重 | 20kg |
樣品臺(tái)移動(dòng)精度 | 0.1μm（XYZ 軸） |
傳感器幀率 | 180 幀 / 秒 |
軟件方面，SensoSCAN 內(nèi)置 ISO 4287、ISO 12781-2 等標(biāo)準(zhǔn)算法，確保數(shù)據(jù)通用性。支持 PDF、Excel 等多種格式導(dǎo)出，方便存檔分享。
S neox 通過(guò)豐富的輔助設(shè)備與軟件適配，滿(mǎn)足不同樣品與場(chǎng)景需求。輔助夾具涵蓋多類(lèi)專(zhuān)用型號(hào)：真空吸附夾具通過(guò) - 0.1MPa 至 0MPa 可調(diào)負(fù)壓，平整固定薄膜、紡織品等柔性樣品，避免褶皺影響檢測(cè)；顯微定位夾具借助精密旋鈕與光學(xué)對(duì)準(zhǔn)裝置，實(shí)現(xiàn) 5μm 精度定位，適配 MEMS 器件、微型齒輪等微小樣品。
針對(duì)特殊樣品，無(wú)菌夾具支持紫外線(xiàn)消毒，適配人工皮膚等生物樣品檢測(cè)；旋轉(zhuǎn)式夾具轉(zhuǎn)速 0-10r/min，可檢測(cè)圓柱類(lèi)工件表面形貌。批量場(chǎng)景中，設(shè)備可聯(lián)動(dòng)自動(dòng)化上下料模塊，通過(guò)機(jī)械臂完成樣品傳送與分類(lèi)，每小時(shí)檢測(cè)量達(dá) 80-120 個(gè)，無(wú)需人工干預(yù)。搭配環(huán)境控制艙時(shí)，能將溫度波動(dòng)控制在 ±0.3℃，濕度波動(dòng) ±1%，保障光學(xué)晶體等敏感樣品的檢測(cè)穩(wěn)定性。
軟件適配能力同樣突出，15 英寸高清觸控屏支持直接操作常用功能，界面含中文、英文等多語(yǔ)言選項(xiàng)。內(nèi)置 30 + 行業(yè)模板，覆蓋半導(dǎo)體、汽車(chē)等領(lǐng)域，用戶(hù)可保存 100 + 自定義模板，重復(fù)檢測(cè)時(shí)直接調(diào)用?！皺z測(cè)向?qū)А?模塊提供分步指引，如半導(dǎo)體金線(xiàn)檢測(cè)時(shí)，會(huì)提示固定、對(duì)焦、掃描等步驟及注意事項(xiàng)，降低操作失誤率。設(shè)備還支持遠(yuǎn)程升級(jí)與故障診斷，進(jìn)一步提升使用便利性。
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