日本ULVAC愛發(fā)科SH200-A電離真空計(jì)產(chǎn)品介紹

新系列傳感器型“G-RTAN 系列多重電離真空計(jì)”，可連接不同類型的傳感器頭。
該產(chǎn)品是 B-A 型電離真空計(jì)，可以測量超高真空。
改進(jìn)為更加用戶友好，取代了寬范圍測量和低運(yùn)行成本的概念。
特點(diǎn)：
● 愛發(fā)科自己的理念：能夠根據(jù)應(yīng)用連接不同測量范圍的傳感器頭。
● 緊湊：與以前的系列相比，顯著小型化（控制器體積減少 56%）。世界上*小的級別。
● 高可用性：通過連接 PC/Android 設(shè)置設(shè)定點(diǎn)、條件檢查等。
● 更多選擇：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格外，還提供 EtherCAT 規(guī)格。
● 燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)視電量，可以在電離真空計(jì)壽命之前進(jìn)行提前警告。
● 寬測量范圍：從大氣壓到超高真空 （1 x 10+5至 5 x 10-8Pa） 的 （與可選單元 SWU10-R 一起使用時(shí)）。
● **的大氣壓力感應(yīng)：可提供腔室打開時(shí)的大氣壓力檢查（與可選裝置 SAU 一起使用時(shí)）。

應(yīng)用：
● 半導(dǎo)體或電氣設(shè)備真空設(shè)備的高真空范圍內(nèi)的過程控制。
● 用于具有許多工藝腔室的在線或間歇式真空設(shè)備的**壓力檢查。
● 高真空或超高真空設(shè)備的壓力測量。

規(guī)格：
型號：SH200-A 類型：模擬輸出類型 
型號：SH200-R 類型：串行通信類型
適用的電離計(jì)傳感器頭：M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
可連接的傳感器：
多電離計(jì) SH200：1
個(gè)皮拉尼真空計(jì)傳感器單元 SWU10-R：1 個(gè)（可選）
壓力感應(yīng)單元 SAU：1 個(gè)（可選）
重復(fù)性(N2)：SH200 簡單模式：±2%
采樣時(shí)間：60 毫秒，5 倍移動(dòng)平均線
值輸出：
輸出電壓：0 至 10 VDC，LOG 輸出：0.75 V/1 十進(jìn)制
壓力轉(zhuǎn)換方程：V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新時(shí)間：60 毫秒
控制輸入信號：FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF帶集電極開路輸入、負(fù)邏輯
控制輸出信號：
傳感器誤差，設(shè)定點(diǎn) 1/2/3，發(fā)射有效
燈絲
功率觀察 額定值：24VMAX、50mAMAX
飽和電壓：1V
通信類型：RS232C/RS-485 接口
LED顯示屏：電源：電源、錯(cuò)誤 LED（閃爍模式和顏色變化取決于每種模式）
發(fā)射電流：1mA （1×10-3Pa 或更低）、10μA （1×10-3Pa 或更高）
脫氣法：電子轟擊型 1mA，330V
傳感器的*大壓力：2×10+5Pa （1.5 x 10+3托，2 x 10+3mbar）（**壓力）
*需要單獨(dú)的措施作為抵抗壓力的能力，例如法蘭和卡箍
傳感器內(nèi)部容積：17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46）
工作溫度范圍：10 至 50°C
工作濕度范圍：15 至 80%（非冷凝）
儲存溫度：-20 至 65°C(非通電、非冷凝)
IP 等級：IP30 防護(hù)等級
電源電壓：DC20 至 28V（紋波、噪聲 1% 或更低）低于 8W
輸入/輸出連接器：D-sub15 針（M2.6 螺絲）
重量：傳感器單元：約 280g，傳感器頭 （M-44/45）：80g，（M-46）：300g
尺寸：69(寬)×63(深)×90(高) mm（僅傳感器單元）
適用標(biāo)準(zhǔn)：CE