手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)手機(jī)版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號(hào)：chem17
掃碼關(guān)注視頻號(hào)
極短波紫外線（ExtremeUltraviolet,EUV）輻射光源的波段范圍通常指的是波長(zhǎng)在極紫外光譜中的一部分，具體范圍為10到121納米，即波長(zhǎng)短于傳統(tǒng)紫外線（UV-A、UV-B、UV-C）光譜的紫外線輻射。
極短波紫外線的波段劃分：
極紫外線（EUV）：其波長(zhǎng)范圍一般定義為10nm到121nm，位于紫外線光譜中的最短波長(zhǎng)部分，低于傳統(tǒng)紫外線C波段（200nm至280nm）并且比X射線的波長(zhǎng)長(zhǎng)。
與X射線的關(guān)系：EUV輻射的波長(zhǎng)比X射線長(zhǎng)，但比紫外線C波段短，因此它有時(shí)被認(rèn)為是“過(guò)渡”的輻射，位于紫外線和X射線之間。
EUV的特點(diǎn)：
高能量：EUV輻射的能量較高，可以穿透許多材料，但通常會(huì)被空氣和其他物質(zhì)迅速吸收，因此在地球表面上幾乎不發(fā)生自然的EUV輻射。
應(yīng)用領(lǐng)域：由于其短波長(zhǎng)和高能量，EUV光源廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代半導(dǎo)體制造中的光刻技術(shù)，用于制造極小尺寸的集成電路（例如7nm、5nm制程）。此外，EUV也用于天文學(xué)、材料科學(xué)和某些醫(yī)學(xué)應(yīng)用中。
EUV光源的類型：
由于EUV的波長(zhǎng)非常短，傳統(tǒng)的光源無(wú)法直接產(chǎn)生如此波長(zhǎng)的紫外線?，F(xiàn)有的EUV光源主要采用以下幾種技術(shù)：
自由電子激光（FEL）：使用電子在磁場(chǎng)中加速后產(chǎn)生的輻射，用于生成EUV波長(zhǎng)。
等離子體光源：通過(guò)高能激光照射某些物質(zhì)（如錫）產(chǎn)生的等離子體來(lái)發(fā)射EUV輻射。
應(yīng)用：
半導(dǎo)體制造：EUV技術(shù)是目前制造先進(jìn)半導(dǎo)體芯片的重要工具，尤其是在極小尺寸的光刻中，如10nm、7nm甚至更小的工藝節(jié)點(diǎn)。
天文學(xué)：EUV波段對(duì)于研究高溫物體（如太陽(yáng)、星系等）及其輻射特征非常重要。
材料科學(xué)：用于分析材料的表面結(jié)構(gòu)和成分，尤其在納米技術(shù)領(lǐng)域。
總的來(lái)說(shuō)，極短波紫外線（EUV）是介于紫外線和X射線之間的重要輻射波段，具有較高的能量，并在多個(gè)高技術(shù)領(lǐng)域中發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
相關(guān)產(chǎn)品
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來(lái)源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來(lái)源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對(duì)其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來(lái)源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問(wèn)題，請(qǐng)?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購(gòu)中心