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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>AS-ONE100/150 法國ANNEALSYS快速退火爐(RTP)

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AS-ONE100/150 法國ANNEALSYS快速退火爐(RTP)

具體成交價以合同協(xié)議為準

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 北京朗銘潤德光電科技有限公司是從事于半導體和太陽能薄膜電池研發(fā)和生產型設備的代理公司,主要代理產品包括:

德國FHR公司:磁控濺射設備、PECVD設備、刻蝕設備、靶材、UPS03氣壓控制系統(tǒng)等。

德國Centrotherm公司:尾氣處理設備。

法國FLOWLINK公司:高純特氣閥門,如隔膜閥、波紋管閥、止回閥等。

法國Annealsys公司:RTP快速熱處理設備、MOCVD設備、LPCVD設備等。

法國MPA公司:提供制備各種特殊材料的CVD設備和工藝。

本公司在向客戶提供*產品的同時,向客戶提供*的服務;為客戶著想,與客戶共求發(fā)展,共創(chuàng)雙贏。朗銘值得您的信賴與期待!

Annealsys的RTP快速熱處理、小型MOCVD,Centrotherm的廢氣處理設備,F(xiàn)lowlink高純特氣閥門

多用途快速退火爐設備,適用于硅,化合物半導體,光子學& MEMS

zui高溫度到1500℃, 升溫速率zui大200℃/s, 高真空性能,快速冷卻選項

應用:注入退火

合金接觸

快速熱氧化(RTO)

快速熱氮化 (RTN)

從旋涂摻雜物擴散

致密性和結晶化

硅化等工藝

基片類型:硅片、化合物半導體硅片、太陽能電池用的多晶硅片、玻璃基片、金屬基片、石墨舟等。

主要特點:配有無聲風扇冷卻的紅外鹵素管燈退火爐

不銹鋼冷壁腔室技術

快速數字PID溫度控制器

熱電偶和高溫計控制

大氣和真空下工藝性能

配有針閥的吹掃氣路

zui多5路工藝氣路配有數字MFC控制器

配有以太網通訊的PC控制,用于快速數據記錄

可選渦輪分子泵和壓力控制

 

 

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