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AS-Micro 法國ANNEALSYS 快速退火爐（RTP）

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 北京朗銘潤德光電科技有限公司是從事于半導(dǎo)體和太陽能薄膜電池研發(fā)和生產(chǎn)型設(shè)備的代理公司，主要代理產(chǎn)品包括：

德國FHR公司：磁控濺射設(shè)備、PECVD設(shè)備、刻蝕設(shè)備、靶材、UPS03氣壓控制系統(tǒng)等。

德國Centrotherm公司：尾氣處理設(shè)備。

法國FLOWLINK公司：高純特氣閥門，如隔膜閥、波紋管閥、止回閥等。

法國Annealsys公司：RTP快速熱處理設(shè)備、MOCVD設(shè)備、LPCVD設(shè)備等。

法國MPA公司：提供制備各種特殊材料的CVD設(shè)備和工藝。

本公司在向客戶提供*產(chǎn)品的同時(shí)，向客戶提供*的服務(wù)；為客戶著想，與客戶共求發(fā)展，共創(chuàng)雙贏。朗銘值得您的信賴與期待！

Annealsys的RTP快速熱處理、小型MOCVD,Centrotherm的廢氣處理設(shè)備，F(xiàn)lowlink高純特氣閥門

低成本3-英寸快速熱處理設(shè)備，適用于研發(fā)應(yīng)用

zui高到 1250℃, 250℃/s, 高真空性能

應(yīng)用：

•注入退火

•合金接觸

•快速熱氧化(RTO)

•快速熱氮化(RTN)

•致密化和結(jié)晶化

•硅化

•等等

主要特性：

•配有無聲風(fēng)扇冷卻的紅外線鹵素管燈退火爐

•配有水冷卻不銹鋼法蘭的石英管腔室

•快速PID溫度控制器

•熱電偶控制

•大氣和真空工藝性能

•配有針閥的吹掃氣路

•zui多3條氣路，配有數(shù)字MFC

•配有以太網(wǎng)通訊的PC控制，用于快速數(shù)據(jù)記錄

•可選鍍有SiC石墨基片托，用于2-英寸基片

•可選渦輪分子泵和壓力控制

•可選配雙腔室用于交叉污染問題

 

 

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