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NPE-4000 PECVD/等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) NPE-4000
  • 產(chǎn)地 PECVD
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2018/5/8 17:15:57
  • 訪問(wèn)次數(shù) 468

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NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應(yīng)商，提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積、刻蝕、生長(zhǎng)、表面處理、清洗、空間仿真儀器測(cè)試等類別。

主要的設(shè)備包含有：

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng)；
PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)；
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)，DLC類金剛石沉積系統(tǒng)；
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng)；
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng)；
RIE反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，DRIE深硅刻蝕系統(tǒng)；
ICP電感耦合等離子系統(tǒng)；
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng)；
ALD原子層沉積系統(tǒng)，PA-MOCVD系統(tǒng)；
CNT生長(zhǎng)系統(tǒng)，石墨烯生長(zhǎng)系統(tǒng)；
PIII等離子注入系統(tǒng)，RTP真空退火；
Megasonic兆聲清洗/刻蝕；
Device Testing Systems設(shè)備測(cè)試(空間仿真)；
Heated Platens等離子樣品臺(tái)等。

NANO-MASTER（那諾-馬斯特）的設(shè)備廣泛應(yīng)用于：LED領(lǐng)域，MEMS領(lǐng)域，納米技術(shù)領(lǐng)域，光電子學(xué)，光伏領(lǐng)域，研究開(kāi)發(fā)、半導(dǎo)體領(lǐng)域，空間仿真學(xué)，新興技術(shù)等。

PECVD，PA-MOCVD，蒸發(fā)系統(tǒng)，離子束，ALD，等離子源，濺射，刻蝕，熱真空，兆聲清洗機(jī)，雙系統(tǒng)

PECVD/等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

NANO-MASTER(那諾-馬斯特) PECVD系統(tǒng)能夠沉積高質(zhì)量的SiO2, Si3N4, 或DLC薄膜到zui大可達(dá)12” 直徑的基片上.該系統(tǒng)采用淋浴頭電極或中空陰極射頻等離子源來(lái)產(chǎn)生等離子，具有分形氣流分布的優(yōu)勢(shì).樣品臺(tái)可以通過(guò)RF或脈沖DC產(chǎn)生偏壓。并可以支持加熱和循環(huán)冷卻水的冷卻.使用250l/sec渦輪分子泵及3.5 cfm的機(jī)械泵，腔體可以達(dá)到低至10-7 torr的真空。標(biāo)準(zhǔn)配置包含1路惰性氣體、3路活性氣體管路和4個(gè)MFC.帶有*氣體分布系統(tǒng)的平面中空陰極等離子源使得系統(tǒng)可以滿足廣大范圍的要求，無(wú)論是等離子強(qiáng)度、均勻度，還是要分別激活某些活性組份，這樣系統(tǒng)可以覆蓋zui廣的可能性來(lái)獲得各種沉積參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 不銹鋼或鋁制腔體
  • 極限真空可達(dá)10-7Torr
  • RF淋浴頭，HCD或微波等離子源可選
  • 高達(dá)12”(300mm)直徑的樣品臺(tái)
  • RF射頻偏壓樣品臺(tái)
  • 水冷樣品臺(tái)
  • 可加熱到800 °C樣品臺(tái)
  • 加熱的氣體管路
  • 加熱的液體傳送單元
  • 抗腐蝕的渦輪分子泵組
  • 1路載體氣體以及3路反應(yīng)氣體，帶MFC
  • zui大可支持8路MFC，帶排放箱及氣體閥組
  • 預(yù)真空鎖及自動(dòng)上下載腔門
  • 氣動(dòng)控制閥
  • 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
  • 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)
  • 完整的安全聯(lián)鎖

產(chǎn)品應(yīng)用：

  • 等離子誘導(dǎo)表面改性
  • 等離子清洗
  • 等離子聚合
  • SiO2, Si3N4, a-Si, DLC以及其它薄膜
  • CNT選擇性生長(zhǎng)

設(shè)備型號(hào)：

  • NPE-4000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立系統(tǒng)
  • NPE-3500：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立系統(tǒng)
  • NPE-3000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
  • NRP-4000：RIE/PECVD雙系統(tǒng)
  • NSP-4000：濺射/PECVD雙系統(tǒng)


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