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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設備>其它實驗室常用設備>其它實驗室設備>NMC-4000 PAMOCVD/等離子輔助MOCVD

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NMC-4000 PAMOCVD/等離子輔助MOCVD

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 那諾-馬斯特中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NMC-4000
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2018/5/20 17:01:41
  • 訪問次數(shù) 400

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!


NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業(yè)薄膜工藝系統(tǒng)的供應商，提供的產(chǎn)品涵蓋了沉積、刻蝕、生長、表面處理、清洗、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設備包含有：

E-Beam電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，Thermal熱蒸發(fā)系統(tǒng)；
PECVD等離子增強化學氣相沉積系統(tǒng)；
PLD脈沖激光沉積系統(tǒng)，DLC類金剛石沉積系統(tǒng)；
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統(tǒng)；
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統(tǒng)；
RIE反應離子刻蝕系統(tǒng)，DRIE深硅刻蝕系統(tǒng)；
ICP電感耦合等離子系統(tǒng)；
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統(tǒng)；
ALD原子層沉積系統(tǒng)，PA-MOCVD系統(tǒng)；
CNT生長系統(tǒng)，石墨烯生長系統(tǒng)；
PIII等離子注入系統(tǒng)，RTP真空退火；
Megasonic兆聲清洗/刻蝕；
Device Testing Systems設備測試(空間仿真)；
Heated Platens等離子樣品臺等。

NANO-MASTER（那諾-馬斯特）的設備廣泛應用于：LED領域，MEMS領域，納米技術領域，光電子學，光伏領域，研究開發(fā)、半導體領域，空間仿真學，新興技術等。

PECVD，PA-MOCVD，蒸發(fā)系統(tǒng)，離子束，ALD，等離子源，濺射，刻蝕，熱真空，兆聲清洗機，雙系統(tǒng)

PAMOCVD/等離子輔助金屬有機物化學氣相沉積

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)針對InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺式等離子輔助金屬有機化學氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個鼓泡裝置(各帶獨立的冷卻槽)、950度樣品臺三個氣體環(huán)、PC全自動控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，*的安全互鎖。

目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項技術延伸到5個4"晶圓的立柜式獨立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

型號NMC-3000的PAMOCVD系統(tǒng)

  • 應用：綠光LED(GaN, InGaN, AlGaN, ...)
  • 臺式系統(tǒng)
  • 5個帶獨立冷卻槽的起泡器
  • 加熱的氣體管路
  • 950 °C樣品臺，2”晶圓片
  • 3個氣體環(huán)
  • RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
  • 工藝完成后N2自動沖洗
  • 極限真空5x10-7Torr
  • 250 l/s的渦輪分子泵串接無油干泵
  • 通過LabView軟件實現(xiàn)PC計算機全自動控制
  • 菜單驅(qū)動，4級密碼訪問控制
  • 完整的安全聯(lián)鎖

型號NMC-4000的PAMOCVD系統(tǒng)

  • 獨立系統(tǒng)
  • 14”不銹鋼立方體腔體
  • 1次在8”樣品臺上處理1個6”晶圓片或在12”樣品臺上處理5片4”片子
  • 加熱的氣體管路
  • RF等離子源，自動調(diào)諧
  • 淋浴頭氣體分布
  • 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺
  • N2沖洗
  • 手動或自動的晶圓片上下載
  • 可以兼容到集群配置中


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