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NSC-4000（M） 磁控濺射系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號 NSC-4000（M）
  • 產(chǎn)地 美國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 8:49:27
  • 訪問次數(shù) 4347

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機(jī)構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機(jī)等）。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀，包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)（PTR）質(zhì)譜儀、電子轟擊電離（EI）質(zhì)譜儀等。





ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機(jī)，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

磁控濺射技術(shù)

NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)概述：帶有水冷或者加熱(可加熱到700度)功能，可達(dá)8"旋轉(zhuǎn)平臺，可支持4個偏軸平面磁控管。系統(tǒng)配套渦輪分子泵，極限真空可達(dá)10-7 Torr，15分鐘內(nèi)可以達(dá)到10-6 Torr的真空。通過調(diào)整磁控管與基片之間的距離，可以獲得想要的均勻度和沉積速度。

NSC-4000帶有13”鋁質(zhì)腔體，4個2”的磁控管，DC直流和RF射頻電源。 在選配方面，我們提供不銹鋼腔體，500 l/s渦輪分子泵，額外的磁控管和襯底加熱功能。

NSC-4000（M）磁控濺射系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：

  • 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體

  • 260或500 l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵

  • 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源

  • 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率

  • 帶觀察視窗的腔門易于上下載片

  • 基于LabView軟件的PC計算機(jī)控制

  • 帶密碼保護(hù)功能的多級訪問控制

  • *的安全聯(lián)鎖功能

NSC-4000（M）選配項(xiàng)：

  • 不銹鋼腔體

  • 熱蒸鍍能力

  • RF、DC濺射

  • RF或DC偏壓（1000V）

  • 樣品臺可加熱到700°C

  • 膜厚監(jiān)測儀

  • 基片的RF射頻等離子清洗

  • 預(yù)真空鎖以及自動晶圓片上/下載片

NSC-4000（M）應(yīng)用：

  • 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆

  • 光學(xué)以及ITO涂覆

  • 帶高溫樣品臺和脈沖DC電源的硬涂覆

  • 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射



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