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Q235微波等離子去膠清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 那諾中國有限公司
  • 品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 德國
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/4/28 10:00:39
  • 訪問次數(shù) 2542

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那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。


那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。


那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀，包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)（PTR）質(zhì)譜儀、電子轟擊電離（EI）質(zhì)譜儀等。





ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

產(chǎn)地類別 進口 應(yīng)用領(lǐng)域 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

微波等離子清洗去膠技術(shù)

Q235微波等離子去膠清洗機概述：Q系列等離子清洗機是石英腔的微波等離子系統(tǒng)，可以安裝到超凈間墻上。該系列的微波等離子系統(tǒng)可以用于批處理，也可以作為單片處理，系統(tǒng)為計算機全自動控制的系統(tǒng)。典型工藝包含：大劑量離子注入后的光刻膠去除；干法刻蝕工藝的前處理或后處理；MEMS制造中的犧牲層去除。

Q235微波等離子去膠清洗機工藝參數(shù)：

  • 材質(zhì)：石英玻璃
  • 容積：11公升
  • 腔體尺寸：直徑235mm，深度260mm
  • 腔體后部：鋁
  • 腔門：鋁質(zhì)材料制作，抽拉式支撐架跟前門相連，便于手動放片；
  • 氣體分布：前門擴散
  • 觀察視窗：防紫外及微波
  • 支撐架：鋁質(zhì)材料， 
  • 真空連接：DN25 ISO-KF
  • 壓力控制：Pirani，1-100Pa
  • 真空泵：推薦25m3/h
  • 真空閥：電子氣動閥，DN25 ISO-KF
  • 真空密封：硅樹脂
  • 氣體供應(yīng)：
  • 氣體通道：1路數(shù)字MFC，裝有電磁閥，500sccm（N2校準(zhǔn)），1/4" Swagelok接頭
  • 卸壓：電磁閥，1/4" Swagelok接頭
  • 功率：2.45GHz，50-600W連續(xù)可調(diào)
  • 耦合：微波天線，鋁質(zhì)諧振器，腔體內(nèi)無電極

系統(tǒng)控制：

  • PC, Windows, RS 232, USB, Ethernet (也適用于遠(yuǎn)程控制)
  • 7”觸摸屏、圖形用戶界面
  • Windows Office兼容
  • 存儲處理數(shù)據(jù)和錯誤信息，處理數(shù)據(jù)輸出
  • 工藝參數(shù)圖形曲線的 監(jiān)測
  • 自動或手動操作


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