NRE-3000型RIE-PE刻蝕機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 那諾中國有限公司
品牌
型號
產(chǎn)地美國
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/7/4 15:09:27
訪問次數(shù) 2098

產(chǎn)品標(biāo)簽

帶PE刻蝕的RIE刻蝕機 PE刻蝕RIE刻蝕一體機 RIE刻蝕PE刻蝕一體機帶RIE的PE刻蝕機

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公司介紹 主營產(chǎn)品

那諾中國有限公司專注于為大中華區(qū)域（包括中國大陸、香港、澳門和中國臺灣）的高校、科研院所、企業(yè)研發(fā)與生產(chǎn)等企業(yè)機構(gòu)提供高性能、高性價比、定制化的薄膜工藝加工設(shè)備及科學(xué)分析檢測儀器。

那諾中國提供美國那諾-馬斯特薄膜工藝加工設(shè)備（包含磁控濺射、熱蒸鍍、電子束、PECVD、ALD、PA-MOCVD、RIE、離子束、DRIE、晶圓兆聲清洗機等）。

那諾中國提供英國KORE基于飛行時間的質(zhì)譜儀，包含飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）、質(zhì)子轉(zhuǎn)移反應(yīng)（PTR）質(zhì)譜儀、電子轟擊電離（EI）質(zhì)譜儀等。

展開

ALD，PECVD，RIE，磁控濺射，熱蒸鍍，電子束，離子束，晶圓清洗機，PA-MOCVD，飛行時間二次離子質(zhì)譜儀（TOF-SIMS）

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,制藥/生物制藥

NRE-3000型RIE-PE刻蝕機概述：RIE刻蝕PE刻蝕臺式一體機，淋浴頭氣體分布裝置以及水冷RF樣品.具有不銹鋼柜子以及13"的上蓋式圓柱形鋁腔,便于晶圓片裝載.腔體有兩個端口:一個帶有2"的視窗,另一個空置用于診斷.該系統(tǒng)可以支持至大到12"的晶圓片。腔體為超凈設(shè)計，并且根據(jù)配套的真空泵可以達(dá)到10-6 Torr 或更小的極限真空。該系統(tǒng)系統(tǒng)可以在20mTorr到8Torr之間的真空下工作。真空泵組包含一個節(jié)流閥,一個250l/s的渦輪分子泵,濾網(wǎng)過濾器,以及一個10cfm的機械泵(帶Formblin泵油).RF射頻功率通過600W,13.56MHz的電源和自動調(diào)諧器提供。系統(tǒng)將持續(xù)監(jiān)控直流自偏壓,該自偏壓可以高達(dá)-500V.這對于各向異性的刻蝕至關(guān)重要。

NRE-3000型RIE-PE刻蝕機是基于PC控制的全自動系統(tǒng).系統(tǒng)真空壓力及DC直流偏壓將以圖形格式實時顯示,流量及功率則以數(shù)字形式實時顯示.系統(tǒng)提供密碼保護(hù)的四級訪問功能:操作員級、工程師級、工藝人員級,以及維護(hù)人員級.允許半自動模式(工程師模式)、寫程序模式(工藝模式), 和全自動執(zhí)行程序模式(操作模式)運行系統(tǒng)?；谌詣拥目刂?，該系統(tǒng)具有高度的可重復(fù)性。

產(chǎn)品特點：