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新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計(jì)
- 公司名稱 東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2018/7/5 14:10:35
- 訪問次數(shù) 1320
INFICON檢測(cè)器INFICON分析儀INFICON 控制器INFICON 檢漏儀INFICON 真空計(jì)
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 2千-5千 |
---|
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計(jì) 條紋帶有INFICON*的傳感器護(hù)罩,可防止不希望有的過程副產(chǎn)品出現(xiàn)。INFICON條紋采用創(chuàng)新的加熱概念,為觸摸表。
新品INFICON Stripe高速電容式隔膜真空計(jì) 3CC9-651-2380優(yōu)點(diǎn)
1.高生產(chǎn)率 - 響應(yīng)時(shí)間超過2ms(FS> 50 mTorr)
2.靈活的集成 - EtherCAT現(xiàn)場(chǎng)總線
3.壽命長(zhǎng) - 經(jīng)過驗(yàn)證的陶瓷傳感器
4.忘記重新校準(zhǔn) - 90ppm /年滿量程穩(wěn)定性
典型應(yīng)用
1.原子層沉積
2.高速過程控制
3.PVD,CVD,蝕刻
4.一般高溫真空應(yīng)用
3CC9-651-2380產(chǎn)品規(guī)格
類型 | 1000Torr / 1100mbar ... 0.05Torr / mbar | 0.02 ... 0.01Torr / mbar | |
---|---|---|---|
準(zhǔn)確度(1) | 閱讀的百分比 | 0.15 | - |
精確 | 閱讀的百分比 | - | 0.2 |
溫度效應(yīng) | |||
在零... 1000乇/毫巴 | 百分比FS /℃ | 0.0025 | - |
零點(diǎn)0.5 ... 0.05 Torr / mbar | 百分比FS /℃ | 0.005 | - |
零點(diǎn)0.02 ... 0.01 Torr | 百分比FS /℃ | - | 0.01 |
在跨度上 | 讀數(shù)百分比/°C | 0.01 | 0.01 |
大壓力 | |||
P大1000Torr / mbar | kPa(絕dui值) | 400 | 400 |
P大500 ... 1Torr / mbar | kPa(絕dui值) | 260 | 260 |
P大0.5 ... 0.01Torr / mbar | kPa(絕dui值) | 130 | 130 |
解析度 | 百分比FS | 0.003 | 0.003 |
低的閱讀 | 百分比FS | 0.01 | 0.01 |
低的建議閱讀 | 百分比FS | 0.05 | 0.05 |
建議的低控制壓力 | 百分比FS | 0.5 | 0.5 |
溫度 | |||
操作(環(huán)境) | C | +10 ... +40 | +10 ... +40 |
法蘭烘烤 | C | ≤110 | ≤110 |
存儲(chǔ) | C | -20 ... +85 | -20 ... +85 |
電源電壓 | +14 ... +30 VDC或±15 V(±5%) | +14 ... +30 VDC或±15 V(±5%) | |
能量消耗 | |||
在加熱期間 | w ^ | ≤14 | ≤14 |
在工作溫度下 | w ^ | ≤9 | ≤9 |
輸出信號(hào)(模擬) | V(直流) | 0 ... +10 | 0 ... +10 |
響應(yīng)時(shí)間(2) | 女士 | 2 | |
防護(hù)等級(jí) | IP 30 | IP 30 | |
標(biāo)準(zhǔn) | |||
CE符合性 | EN 61000-6-2 / -6-3,EN 61010和RoHS | EN 61000-6-2 / -6-3,EN 61010和RoHS | |
ETL認(rèn)證 | UL 61010-1,CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1,CSA 22.2 No.61010-1 | |
SEMI合規(guī)性 | SEMI S2 | SEMI S2 | |
電氣連接 | D-sub,15極,男 | D-sub,15極,男 | |
設(shè)定點(diǎn) | |||
設(shè)定點(diǎn)數(shù) | 2(SP1,SP2) | 2(SP1,SP2) | |
繼電器接觸 | V(直流) (dc) | ≤30 | ≤30 |
滯后 | 百分比FS | 1 | 1 |
診斷端口 | |||
協(xié)議 | USB | USB | |
讀 | 壓力,狀態(tài),身fen證 | 壓力,狀態(tài),身fen證 | |
組 | 設(shè)定點(diǎn),濾波器,零點(diǎn)調(diào)整,出廠重置,DC偏移 | 設(shè)定點(diǎn),濾波器,零點(diǎn)調(diào)整,出廠重置,DC偏移 | |
材料暴露在真空中 | 氧化鋁陶瓷(AI 2 O 3),不銹鋼(AISI 316L (4)) | 氧化鋁陶瓷(AI 2 O 3),不銹鋼(AISI 316L (4)) | |
內(nèi)部音量 | |||
I.體積1/2''管 | cm³(in.³) | 4.2(0.26) | 4.2(0.26) |
I.體積DN 16 ISO KF | cm³(in.³) | 4.2(0.26) | 4.2(0.26) |
I.體積DN 16 CF-R | cm³(in.³) | 4.2(0.26) | 4.2(0.26) |
I.第8卷VCR® | cm³(in.³) | 4.2(0.26) | 4.2(0.26) |
重量 | |||
重量1/2“管 | G | 837 | 837 |
重量DN 16 ISO KF | G | 852 | 852 |
重量DN 16 CF-R | G | 875 | 875 |
重量8VCR® | G | 897 | 897 |
EtherCAT的 | |||
協(xié)議EtherCAT | 于EtherCAT的協(xié)議 | 于EtherCAT的協(xié)議 | |
通信標(biāo)準(zhǔn) | ETG.5003第1部分“半導(dǎo)體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件:真空壓力表” | ETG.5003第1部分“半導(dǎo)體器件配置文件”ETG.5003第2080部分“特定器件配置文件:真空壓力表” | |
節(jié)點(diǎn)地址 | 顯式設(shè)備標(biāo)識(shí) | 顯式設(shè)備標(biāo)識(shí) | |
物理層 | 100BASE-Tx(IEEE 802.3) | 100BASE-Tx(IEEE 802.3) | |
數(shù)字功能讀取 | 壓力,狀態(tài),身fen證 | 壓力,狀態(tài),身fen證 | |
數(shù)字功能設(shè)置 | 設(shè)定點(diǎn),濾波器,零點(diǎn)調(diào)整,復(fù)位,DC偏移 | 設(shè)定點(diǎn),濾波器,零點(diǎn)調(diào)整,復(fù)位,DC偏移 | |
處理數(shù)據(jù) | 修復(fù)了PDO映射和可配置的PDO映射 | 修復(fù)了PDO映射和可配置的PDO映射 | |
(CoE) | SDO請(qǐng)求,響應(yīng)和信息 | SDO請(qǐng)求,響應(yīng)和信息 | |
EtherCAT連接器 | RJ45,8針(插座),IN和OUT | RJ45,8針(插座),IN和OUT | |
電纜 | 屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高 | 屏蔽以太網(wǎng)CAT5e或更高 | |
電纜長(zhǎng)度 | 米(英尺) | ≤100(330) | ≤100(330) |
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