MT-50A型 MT-50A型氣體質(zhì)量流量控制器

MT-50A型氣體質(zhì)量流量控制器概要：
MT-50A系列氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controllr ,簡稱MFC）利用溫差量熱法原理，可對氣體的質(zhì)量流量精密測量和控制，用這種方法測出來的氣體流量可以忽略溫度和壓力的影響.
本產(chǎn)品采用中華人民共和國和電子行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)所規(guī)定的通用的技術(shù)條件和命名方法
 

MT-50A型氣體質(zhì)量流量控制器特點：
模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器：
環(huán)境溫度補正
可應(yīng)用的流率范圍廣：
0～30, 50, 100, 150, 200SLM
 

應(yīng)用：
工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測/控制。  氣體分析設(shè)備。
固定氣體流量控制。       氣體混合或分離設(shè)備
精度±2%F.S
可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能
兼容
 

標(biāo)準(zhǔn)：
MFC出廠長用(N2)標(biāo)定質(zhì)量流量的單位規(guī)定為SCCM（標(biāo)準(zhǔn)毫升/分）SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為：
標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K）
標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa （760mmHg）F.S（Full Scale）:滿量程

輸入輸出：
輸入設(shè)定電壓…………4～20MA     輸出電壓檢測…………4～20MA
供 電 要 求 …………24VDC
流量范圍是以mL/min，L/min 為單位
例：
5mL/min 表示為005
500mL/min表示為500
50 L/min(nor) 表示為50L

功能

流量計/控制器

基本型號 

MT-50A

標(biāo)準(zhǔn)量程

SLM

0～ 50,  100,  150,  200,

精度

±2%

控制閥動作型式

常閉式

線性(％F.S.)

±0.5～1(≤15SLM)

±2％(＞15SLM.)

重復(fù)精度(％F.S.)

±0.2

響應(yīng)時間(sec)

≤1

流量輸出信號

4-20MA

流量設(shè)定信號

4-20MA

電器接頭

DB15 pin(接頭)

工作環(huán)境溫度

(℃)

5～45

工作壓差

(MPa)

0.1～0.5

漏率

SCCSHe

1×10^-8

耐壓

3MPa

介質(zhì)接觸材質(zhì)

304，316，316L

密封材料

氟橡膠，硅橡膠，橡膠，聚四氟乙烯

接頭尺寸

VCR   1/4、1/2  8mm 、10mm、12mm

Swagelok1/8”、1/2”或φ12mm

電源要求

24VDC

功能

流量計/控制器

基本型號 

MT-50A

標(biāo)準(zhǔn)量程

SLM

0～ 50,  100,  150,  200,

重量

1.5KG