電子級(jí)硫酸濃度分析儀

 電子級(jí)硫酸

英文名：Sulfuric Acid，分子式：H₂SO₄，硫的重要的含氧酸，無水硫酸為無色油狀液體，10.36℃時(shí)結(jié)晶，沸點(diǎn)338℃，相對(duì)密度為1.84。硫酸是一種活潑的二元無機(jī)強(qiáng)酸，能和絕大多數(shù)金屬發(fā)生反應(yīng)。高濃度的硫酸有強(qiáng)烈吸水性，可用作脫水劑，碳化木材、紙張、棉麻織物及生物皮肉等含碳水化合物的物質(zhì)。與水混合時(shí)，亦會(huì)放出大量熱能。其具有強(qiáng)烈的腐蝕性和氧化性，故需謹(jǐn)慎使用。

*，電子級(jí)硫酸又稱高純硫酸、超純硫酸，屬于超凈高純?cè)噭?，是一種微電子技術(shù)發(fā)展過程中*的關(guān)鍵基礎(chǔ)化學(xué)試劑。目前廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路(IC)、半導(dǎo)體等微電子工業(yè)，用作清洗和蝕刻劑.隨著中國微電子工業(yè)的高速發(fā)展，電子級(jí)硫酸的需求量日益增加，供不應(yīng)求，電子級(jí)硫酸有著良好的應(yīng)用前景.

電子級(jí)硫酸主要應(yīng)用于電子硅晶片生產(chǎn)過程的清洗和蝕刻。

硅圓片在加工過程中，常常會(huì)被不同的雜質(zhì)所沾污，可引起大規(guī)模集成電路產(chǎn)率下降50%左右。硅圓片上不溶性固體顆粒或金屬離子可能在微細(xì)電路之間導(dǎo)電，使之短路，幾個(gè)金屬離子或灰塵足以使線寬較小的大規(guī)模集成電路報(bào)廢。

Na、Ca等堿金屬雜質(zhì)會(huì)融進(jìn)氧化膜中，導(dǎo)致耐絕緣電壓下降。當(dāng)硅圓片表面附著有Cu、Fe、Cr、Ag等重金屬雜質(zhì)時(shí)，會(huì)使P—N結(jié)耐電壓降低，影響大規(guī)模集成電路電性能。硼、磷、砷等雜質(zhì)離子會(huì)影響擴(kuò)散劑的擴(kuò)散效果，塵埃顆粒會(huì)造成光刻缺陷，氧化層不平整，影響制版質(zhì)量和等離子蝕刻工藝。

為了獲得高質(zhì)量、高產(chǎn)率的集成電路芯片，必須除去各種沾污物，這就需要使用非常純凈的化學(xué)試劑來清洗硅圓片，硫酸和過氧化氫按比例組成有強(qiáng)氧化性的SPM清洗液，在120～150℃下對(duì)硅片進(jìn)行清洗時(shí)，可將金屬氧化后溶于溶液中，并能把有機(jī)物氧化成CO2和H2O。它還可用于光刻過程中的濕法蝕刻去膠，借助于化學(xué)反應(yīng)從硅圓片的表面除去固體物質(zhì)，導(dǎo)致固體表面全部或局部溶解。

 E-Scan系列電子級(jí)硫酸濃度分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上，進(jìn)行濃度監(jiān)測(cè)和控制，可以直接顯示質(zhì)量百分比（Percent)、固形物含量(S.G.)、密度(T.T.A)或用戶自定義的單位，現(xiàn)場(chǎng)顯示并可以模擬信號(hào)（RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時(shí)數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、打印、追溯等功能；通過 4-20mA信號(hào)遠(yuǎn)傳至 PLA/DCS /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。

 E-Scan系列硫酸濃度分析儀擁有以下特征：
PTFE材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃；
免維護(hù)、無耗材、無漂移、自診斷功能，智能報(bào)警信號(hào)輸出功能；
防護(hù)等級(jí)：NEMA4X(IP67）；
自動(dòng)溫度補(bǔ)償（軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫）；
多組4-20ma 模擬信號(hào)及數(shù)字信號(hào)輸出（隔離，非隔離可選）；
3648高分辨率的 CCD；
多種報(bào)警信息輸出顯示（高低/高高/低低/偏差）；
可循環(huán)的干燥劑，無耗材，免維護(hù)；
光源為 589nmLED燈，壽命長達(dá) 100000 小時(shí)；
安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE 、Alloy20合金、teflon；
高精度，高品質(zhì)“美國制造”