應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,電子/電池,紡織/印染 |
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半導(dǎo)體用高純度雙氧水是一種高濃度的過氧化氫水溶液,是技術(shù)微細(xì)加工制作過程中*的關(guān)鍵性基礎(chǔ)化工材料之一,主要用作半導(dǎo)體晶體片的清洗劑、腐蝕劑和光刻膠的去除劑,用于電子工業(yè)制取高級絕緣層、去除電鍍液中無機(jī)雜質(zhì),以及銅、銅合金和半導(dǎo)體材料鎵、鍺及顯像管制造工序的處理等,它的純度對集成電路的成品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。
半導(dǎo)體用高純度雙氧水是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)工藝所必需的化工原料,按質(zhì)量要求由低到高分為MOS級、SEMI-C1、SEMI-C7、SEMI-C8、SEMI-C12等。其中,較低端的MOS級的產(chǎn)品能夠大量生產(chǎn),但SEMI級別的超高純度的生產(chǎn)企業(yè)較少,國內(nèi)生產(chǎn)量也比較少,部分產(chǎn)品依賴國外進(jìn)口。
隨著中國電子電器行業(yè)快速發(fā)展,半導(dǎo)體用高純度雙氧水市場需求不斷增多,行業(yè)生產(chǎn)企業(yè)數(shù)量不斷增加,產(chǎn)品生產(chǎn)規(guī)模不斷擴(kuò)大。
E-Scan系列電子雙氧水濃度分析儀采用臨界角檢測原理,檢測不受物料的顏色,渾濁度,氣泡,固體顆粒等雜質(zhì)的影響、具備高精度的自動溫度補(bǔ)償功能。采用分體式體式,全屏蔽抗干擾設(shè)計(jì),光電信號直接轉(zhuǎn)換處理。摒棄一體式不耐振動和高溫的影響的缺點(diǎn),保障了在線測量的精度及延長儀器使用壽命。內(nèi)置光纖光路傳導(dǎo)系統(tǒng),擁有的抗震性能和高穩(wěn)定性、內(nèi)置溫度傳感器和干燥劑有效監(jiān)測糖度儀的運(yùn)行狀態(tài)。
展會中
E-Scan系列電子級雙氧水濃度分析儀可以安裝在不同管徑的管道或者罐體容器壁上,進(jìn)行濃度監(jiān)測和控制,可以直接顯示質(zhì)量百分比(Percent)或用戶自定義的單位,現(xiàn)場顯示并可以模擬信號(RS232)遠(yuǎn)傳至電腦進(jìn)行即時數(shù)據(jù)存儲、打印、追溯等功能;通過4-20ma信號遠(yuǎn)傳至plc/dcs /變頻器進(jìn)行監(jiān)控或控制。
E-Scan系列電子級雙氧水濃度分析儀擁有以下特征:
●PTFE材質(zhì)的傳感器使其滿足化工、半導(dǎo)體行業(yè)的要求并且耐溫高達(dá)150℃;
●免維護(hù)、無耗材、無漂移、自診斷功能,智能報警信號輸出功能;
●防護(hù)等級:NEMA4X(IP67);
●自動溫度補(bǔ)償(軟件擁有豐富的產(chǎn)品線性數(shù)據(jù)庫和溫度補(bǔ)償數(shù)據(jù)庫);
●多組4-20maA模擬信號及數(shù)字信號輸出(隔離,非隔離可選);
●3648高分辨率的CCD;
●多種報警信息輸出顯示(高低/高高/低低/偏差);
●可循環(huán)的干燥劑,無耗材,免維護(hù);
●光源為589nmled燈,壽命長達(dá)100000小時;
●安裝適配器標(biāo)準(zhǔn):PTFE,Teflon;
●高精度,高品質(zhì)“美國制造”