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AC200-PE 充氮型程控烤膠機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

?溫度分辨率 0.1℃ 控溫精度 ±0.2℃

1.產(chǎn)品概述:

AC200-PE充氮型程控烤膠機是一款門設計的烤膠設備,主要適用于微電子、半導體、制版、新能源、生物材料、鍍膜、薄膜、光學及表面涂覆工藝等域。以下是對該設備的詳細介紹:

2.產(chǎn)品特點

充氮保護:在普通烤膠機的基礎上增加了密封蓋和氮氣注入口,確保氮氣能夠均勻通入烤膠機內(nèi)部,形成惰性氣體保護氣氛,有效防止烤膠過程中的氧化反應,保護基片表面質(zhì)量。

高精度控溫:采用高精度數(shù)顯溫控表控制,升溫速率可控,可編輯多段溫度曲線,確??灸z溫度的精確控制。

優(yōu)良的熱均勻性:設備內(nèi)部設計合理,能夠確保加熱板面的溫度均勻性,保證烤膠效果的一致性。

安全性高:設備四周裝有防燙護欄,降低事故發(fā)生率;同時,加熱輸出獨立電路控制,提高了設備使用安全。

可視化操作:設備蓋子帶可視窗,實驗過程可實時監(jiān)測產(chǎn)品變化,便于操作人員掌握烤膠進程。

3.技術參數(shù)

型號:AC200-PE

控溫范圍:可根據(jù)具體需求定制,如室溫250℃、室溫300℃、500℃、600℃、800℃等。

加熱面板尺寸:適合大8”圓晶,加熱面板尺寸可能因型號而異,具體以實際產(chǎn)品為準。

控溫方式:自適應PID控制,確保溫度控制的準確性和穩(wěn)定性。

溫度分辨率:0.1℃

控溫精度:±0.2℃

溫度均勻性:≤±1%(板面9點或12點溫度差)

真空度:可根據(jù)配置不同達到不同的真空度,如普通機械泵可達到10-1Pa,分子泵可達到10-3Pa。

電源輸入:AC220V,具體電流需求根據(jù)設備功率而定。

加熱功率:根據(jù)設備型號和配置不同而有所差異。

4.應用域

AC200-PE充氮型程控烤膠機廣泛應用于半導體硅片/晶片、ITO導電玻璃、光學玻璃、生物薄膜、制版等工藝加熱過程中,特別適用于需要惰性氣體保護環(huán)境的烤膠工藝。

5.操作注意事項

在使用,應仔細閱讀設備說明書,了解設備性能、操作規(guī)程及安全注意事項。

操作過程中,應嚴格按照設備操作規(guī)程進行,避免誤操作導致設備損壞或安全事故。

設備在使用過程中,應定期進行檢查和維護,確保設備處于良好狀態(tài)。

在進行烤膠工藝時,應根據(jù)具體工藝要求選擇合適的溫度、時間和氮氣流量等參數(shù)。









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