MSC/SC1/2 勻膠機

一、產(chǎn)品介紹

CIF勻膠機轉(zhuǎn)速穩(wěn)定、啟動迅速，旋涂均勻，操作簡單，結(jié)構(gòu)緊湊實用，為實驗室提供了理想的解決方案。廣泛應(yīng)用于微電子、半導(dǎo)體、新能源、化工材料、生物材料、光學(xué)，硅片、載玻片，晶片，基片，ITO 導(dǎo)電玻璃等工藝制版表面涂覆等。

二、CIF勻膠機 產(chǎn)品特點

1. 采用閉環(huán)控制伺服電機，數(shù)字式增速信號反饋，速勻準確，壽命長，保證勻膠均勻。

2. 5寸全彩觸摸屏，智能程序化可編程操控顯示，標配10個勻膠梯度階段（速度和時間梯度設(shè)置），可選配10個可編程程序，每個程序下可設(shè)置10個勻膠梯度階段，最多100個階段。

3. 內(nèi)置水平校準裝置，最大限度的保證旋涂均勻，可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。

4. 多重安全保護

(1) 電磁安全開關(guān)，蓋子打開卡盤停止，保證安全；

(2) 蓋子自鎖功能，防止飛片蓋子崩開傷人；

(3) 雙重安全上蓋，聚四氟嵌鑲鋼化玻璃，避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人，最大限度保證實驗人員安全。

5. 樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護，有效降低電機進膠的風(fēng)險。

6. 一機兩用，根據(jù)不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。

7. 符合人體功能學(xué)的水平取放樣品旋涂托盤設(shè)計，取放樣品更方便。

8. 不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體，旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯（NPP-H）材料，耐酸堿防腐蝕，保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。

9. 上下雙腔體設(shè)計，較大的上腔體便于擦拭去除膠液，錐形下腔體結(jié)構(gòu)設(shè)計便于收集膠液，并帶廢膠收集裝置。

10. 可選氮氣吹干、氮氣保護，自動滴膠或簡易滴膠裝置，提供更多的操作便利性。

11. 適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs，GaN，InP 等多種材料。

三、技術(shù)參數(shù)