PVD系列 日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計(jì)

日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計(jì)系列產(chǎn)品，測(cè)量范圍含蓋普通大氣壓的低真空到高真空((101kPa～1×10-7Pa)廣泛的量測(cè)范圍，機(jī)種豐富，齊全。按各種用途，使用環(huán)境，分為數(shù)字式，模似式，可供用戶(hù)選擇。特別是皮拉尼真空計(jì)（PIRANA VACUUM GAUGE）采對(duì)敏感壓力傳感器器件，對(duì)于壓力變力環(huán)境亦有長(zhǎng)壽命，高信賴(lài)性，以前的皮拉尼真空計(jì)不能正測(cè)量的情況現(xiàn)在也可以測(cè)量。133.3Pa～大氣壓的減壓領(lǐng)域的高精度壓力測(cè)量開(kāi)始可以實(shí)現(xiàn)了。同時(shí)，數(shù)字顯示皮拉尼真空計(jì)的PVD-9500-7型真空計(jì)也實(shí)現(xiàn)了化時(shí)代的價(jià)格。佐藤真空為廣大用戶(hù)提供了各種的產(chǎn)品線，給廣大用戶(hù)更多的選擇。

日本SATO佐藤真空（PHIL） 低真空用真空計(jì)技術(shù)參數(shù)

PVD-9500-5型真空計(jì) 

操作簡(jiǎn)單，真空控制方便，數(shù)字式真空計(jì)，具有如下特點(diǎn)：

真空壓力3點(diǎn)設(shè)定，可以適用于各種用途。

高信賴(lài)性的絕對(duì)壓真空計(jì)，采用擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器，壓力變動(dòng)劇烈的環(huán)境亦具有高信賴(lài)性，長(zhǎng)壽命的特點(diǎn)。

*可選項(xiàng)：接線3M，6M，12M/面板安裝支架（PM9321） 

輸出線BNC接頭（PM9322）/電源3P-2P適配器（PM9324） 

半導(dǎo)體壓力傳感器的工作原理

結(jié)晶體受到機(jī)械外力影響后結(jié)晶結(jié)構(gòu)發(fā)生扭曲，壓阻效應(yīng)使晶體本身的電阻發(fā)生變化。擴(kuò)散型半導(dǎo)體壓力傳感器是硅經(jīng)過(guò)薄化加工形成壓感薄膜（受壓部），形成擴(kuò)散電阻。此薄膜受到壓力時(shí)，產(chǎn)生應(yīng)力，應(yīng)力的大小變化的同時(shí)，電阻隨之變化，就生電阻效應(yīng)。

用途

本真空計(jì)適用于各種品質(zhì)管理，真空干燥，真空含浸等用途。

PVD-9500-L11/PVD-9500-L21/PVD-9500-L31型真空計(jì) 

測(cè)壓部件以超薄金屬膜制成的薄膜（隔膜）型真空計(jì)，以電極間的靜電容量的變化來(lái)反應(yīng)真空壓力的一種真空壓力測(cè)量設(shè)備。零點(diǎn)的安定性高，測(cè)量范圍廣，腐食性氣體亦可使用。配備不同型號(hào)的測(cè)定子，可以做不同范圍的測(cè)量，按測(cè)量目的的不同可以選取不同型號(hào)的機(jī)型。 

*真空測(cè)壓口用部件選用1215PS（內(nèi)徑12.7φ）

特點(diǎn)

絕點(diǎn)精度
隔膜，薄膜真空計(jì)對(duì)單位面積的絕對(duì)壓力可以做到非常正確的測(cè)量。不受被測(cè)腔體內(nèi)的氣體種類(lèi)的影響，可以做到0.5%的精度的絕對(duì)壓力測(cè)量，一般可以做為壓力標(biāo)準(zhǔn)器使用。

零點(diǎn)安定性
采用雙測(cè)量電極的電極構(gòu)造，內(nèi)部的電路，構(gòu)造等采用機(jī)械，熱力學(xué)的設(shè)計(jì)，減少了受周?chē)h(huán)境的影響。

再現(xiàn)性
隔膜，薄膜真空計(jì)的反復(fù)使用的測(cè)量結(jié)果的再現(xiàn)性可以達(dá)到1×10-4以上的精度。歸零，大壓氣的設(shè)定等測(cè)定范圍無(wú)不良影響。

真空測(cè)壓口用部件

KEYWORDS：佐藤真空， SATOVAC， 真空泵系列