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半導(dǎo)體零部件清洗機(jī)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品牌 芯矽科技
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地 工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間 2025/4/22 14:37:34
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 105

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芯矽科技是一家專(zhuān)注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實(shí)驗(yàn)室研發(fā)級(jí)到全自動(dòng)量產(chǎn)級(jí)槽式清洗機(jī),單片清洗機(jī),高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動(dòng)晶圓化學(xué)鍍?cè)O(shè)備,12寸全自動(dòng)爐管/ Boat /石英清洗機(jī)已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長(zhǎng)江存儲(chǔ),中芯國(guó)際,重慶華潤(rùn),上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門(mén)士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線(xiàn)訂單,我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。


導(dǎo)體濕法設(shè)備

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,器件表面潔凈度直接影響芯片性能與良品率。針對(duì)這一核心需求,研發(fā)的半導(dǎo)體零部件清洗機(jī)高精度清潔設(shè)備采用多維技術(shù)融合方案,為晶圓加工、封裝測(cè)試及零部件再生環(huán)節(jié)提供納米級(jí)污染控制能力。該設(shè)備通過(guò)流體力學(xué)優(yōu)化設(shè)計(jì),結(jié)合化學(xué)濕法與物理作用協(xié)同機(jī)制,可有效去除硅片表面微粒殘留、有機(jī)物污染及金屬沉積物,滿(mǎn)足制程對(duì)原子層級(jí)潔凈度的嚴(yán)苛要求。

技術(shù)體系與創(chuàng)新架構(gòu)

設(shè)備搭載三級(jí)凈化模塊:首段采用兆聲波空化技術(shù),通過(guò)高頻振動(dòng)產(chǎn)生微射流沖擊,精準(zhǔn)剝離<10nm的顆粒污染物;次段配置電化學(xué)拋光單元,利用可控電流密度實(shí)現(xiàn)原子級(jí)表面平整化;末段引入真空等離子體轟擊,消除頑固分子級(jí)殘留。全過(guò)程由智能調(diào)控系統(tǒng)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)腔內(nèi)環(huán)境參數(shù),基于機(jī)器學(xué)習(xí)算法動(dòng)態(tài)優(yōu)化清洗液配比、溫度曲線(xiàn)及作用時(shí)長(zhǎng),相較傳統(tǒng)工藝提升30%污染物去除效率,同時(shí)降低25%化學(xué)耗材消耗。

應(yīng)用場(chǎng)景與技術(shù)適配

半導(dǎo)體零部件清洗機(jī)可覆蓋半導(dǎo)體全工藝流程清潔需求:在光刻前處理階段,可清除硅片表面氧化物與有機(jī)膜,保障光刻膠均勻成膜;蝕刻后清洗模塊能有效去除聚合物殘留,避免線(xiàn)條側(cè)壁損傷;針對(duì)封裝環(huán)節(jié)的焊盤(pán)氧化問(wèn)題,有惰性氣體保護(hù)清洗模式,防止微結(jié)構(gòu)二次污染。對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備零部件(如噴淋頭、承載盤(pán))的再生處理,設(shè)備配備定制化夾具與多角度噴淋系統(tǒng),可深入復(fù)雜幾何結(jié)構(gòu)的微米級(jí)縫隙,恢復(fù)零部件至出廠(chǎng)級(jí)潔凈標(biāo)準(zhǔn)。

質(zhì)量保障與經(jīng)濟(jì)效益

設(shè)備通過(guò)SEMI S8潔凈度認(rèn)證,單次清洗可使晶圓表面顆粒數(shù)控制在<0.01μm2,金屬雜質(zhì)含量低于1×10^9 atoms/cm2。全封閉流體循環(huán)系統(tǒng)搭配在線(xiàn)過(guò)濾裝置,廢液回收率達(dá)90%以上,年均可為客戶(hù)節(jié)約危廢處理成本40萬(wàn)元。模塊化設(shè)計(jì)支持2-12英寸晶圓兼容處理,切換時(shí)間<15分鐘,配合自動(dòng)化機(jī)械臂實(shí)現(xiàn)24小時(shí)連續(xù)作業(yè),較人工清洗提升5倍產(chǎn)能。目前該設(shè)備已成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)12英寸晶圓廠(chǎng),助力客戶(hù)將關(guān)鍵制程良品率提升至99.95%。





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