PVD備件清洗機(jī)

PVD備件清洗機(jī)是一款專用于物理氣相沉積（PVD）工藝設(shè)備關(guān)鍵部件清洗的自動化設(shè)備，旨在高效去除工件表面的油污、氧化物、顆粒及鍍膜殘留，確保PVD工藝的穩(wěn)定性和鍍膜質(zhì)量。以下是其核心特點與功能概述：

核心功能

多工藝組合清洗
集成超聲波清洗、噴淋沖洗、浸泡、慢拉脫水、熱風(fēng)烘干等工藝，可針對不同污染物（如有機(jī)殘留、金屬微粒、氧化層）實現(xiàn)分層處理。例如，先通過酸性或堿性溶液浸泡溶解頑固雜質(zhì)，再利用超聲波空化效應(yīng)剝離微小顆粒，最后通過純水噴淋和慢提拉技術(shù)減少水痕殘留

自動化與智能化控制
采用PLC程序控制，支持觸摸屏操作，可預(yù)設(shè)多條清洗流程并自動切換。部分機(jī)型配備機(jī)械手上下料系統(tǒng)，實現(xiàn)全程無人化作業(yè)，提升效率并降低人為污染風(fēng)險。

環(huán)保與節(jié)能設(shè)計
使用水基清洗劑或環(huán)保型溶劑，減少化學(xué)污染。設(shè)備采用全封閉式結(jié)構(gòu)，配備廢氣抽排系統(tǒng)和正壓送風(fēng)裝置，防止揮發(fā)性氣體外泄，同時避免外界粉塵二次污染。

高精度清洗效果
通過超聲頻率調(diào)節(jié)（如40kHz高頻清洗）和噴淋壓力控制，可清除微米級顆粒，滿足PVD腔體、靶材、載具等精密部件的潔凈度要求，確保鍍膜均勻性。

技術(shù)亮點

兼容多材質(zhì)：適用于金屬、陶瓷、玻璃等PVD備件，支持定制化清洗液配方。

溫度與時間精準(zhǔn)調(diào)控：加熱系統(tǒng)可設(shè)定清洗溫度，適應(yīng)不同工藝需求。

安全防護(hù)：配備緊急停機(jī)、介質(zhì)泄漏報警等功能，保障操作安全。

應(yīng)用場景

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)、五金工具、精密模具等行業(yè)，適用于PVD鍍膜前的腔體清潔、靶材預(yù)處理、載板維護(hù)等場景，尤其適合大批量連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境135。