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反射膜厚儀 FT100

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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江蘇集萃中科旨在光學(xué)組件、光學(xué)儀器、智能光電感知三大方向,開展系列關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)化實(shí)踐,目前已形成3D光學(xué)輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發(fā)光、無(wú)損檢測(cè)儀、光譜橢偏儀等標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。公司服務(wù)涵蓋光學(xué)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)及制造一站式服務(wù),同時(shí)為客戶提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。




白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀、粗糙度儀、光學(xué)膜厚儀、光譜橢偏儀等光學(xué)產(chǎn)品。

產(chǎn)地類別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

反射膜厚儀 FT100描述:

緊湊型反射式膜厚儀測(cè)量系統(tǒng),初學(xué)者也能輕松上手解析,單點(diǎn)對(duì)焦并測(cè)量耗時(shí)1秒內(nèi)完成,支持薄膜到厚膜、單層到多層薄膜分析。用于表征介質(zhì)保護(hù)膜、半導(dǎo)體薄膜、玻璃鍍膜等各種樣式薄膜膜厚的光學(xué)計(jì)量專業(yè)化工具。


反射膜厚儀 FT100功能

膜層厚度無(wú)損測(cè)量

避免傳統(tǒng)接觸式測(cè)量(如臺(tái)階儀)可能造成的劃傷或形變。

支持單層、多層膜測(cè)量

通過(guò)干涉條紋間距或反射率極值點(diǎn)直接計(jì)算厚度。

便攜式設(shè)計(jì)

模塊化探頭,緊湊機(jī)身,產(chǎn)線快速抽檢。

支持平面曲面測(cè)量

通過(guò)可變?nèi)肷浣窃O(shè)計(jì)或曲面補(bǔ)償算法(如修正光程差),測(cè)量圓柱透鏡、球面鏡等。

可測(cè)多種狀態(tài)薄膜

如SiO?、光刻膠、PET薄膜,可通過(guò)多峰干涉解析各層厚度。

支持參數(shù)調(diào)整測(cè)量

用戶可保存不同材料的測(cè)量模板,提升批量檢測(cè)效率。


產(chǎn)品特點(diǎn)

1.高精度、高穩(wěn)定性

2.光學(xué)干涉方式,無(wú)損測(cè)量

3.多類解析算法,可精準(zhǔn)和估算測(cè)量,滿足不同測(cè)量需要

4.高速測(cè)量,絕大多數(shù)樣品可1s內(nèi)完成測(cè)量

5.軟件簡(jiǎn)潔,測(cè)量一鍵操作,簡(jiǎn)單易用

6.機(jī)型結(jié)構(gòu)小巧,輕質(zhì)化設(shè)計(jì),便于攜帶


三視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    正視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    側(cè)視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    后視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    正視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    側(cè)視圖

  • 反射膜厚儀 FT100

    后視圖


技術(shù)參數(shù)

波長(zhǎng)范圍

400-850nm

測(cè)量范圍(光學(xué)厚度)

50nm-80μm

測(cè)量重復(fù)性(RMS)

0.4nm

測(cè)量精度(與橢偏儀對(duì)比)

2nm或0.4%(以值為準(zhǔn))

入射角度

90°

光斑尺寸

標(biāo)準(zhǔn)1.5mm

測(cè)量時(shí)間

4ms-100ms

基片測(cè)量范圍

100mm,360°

通信接口

USB3.0




檢測(cè)案例:

  • 反射膜厚儀 FT100

    PVA膜檢測(cè)


  • 反射膜厚儀 FT100

    硅上鍍二氧化硅膜




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