FM-PS-PFS-V02 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時監(jiān)控儀（PFS）

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司
品牌 Fastmicro
型號 FM-PS-PFS-V02
產(chǎn)地荷蘭
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/6/3 13:43:42
訪問次數(shù) 279

產(chǎn)品標(biāo)簽

顆粒檢測

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司（簡稱“復(fù)納科技”）于 2012 年在上海成立，聚焦荷蘭飛納臺式掃描電鏡在中國市場的推廣和應(yīng)用，涵蓋領(lǐng)域包括材料、鋰電新能源、半導(dǎo)體、生命科學(xué)和法醫(yī)檢測等。

截止目前，復(fù)納科技服務(wù)超過 2000 家飛納電鏡客戶和 100 家相關(guān)產(chǎn)品客戶，包括：清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、華南理工大學(xué)和中科院系統(tǒng)等高校科研單位；巴斯夫、寧德時代、微軟、默克和出入境檢驗(yàn)局等企事業(yè)單位。

2017 年開始，復(fù)納科技陸續(xù)與 7 家行業(yè)品牌建立了長期合作，致力于為中國高校、研究所、企業(yè)和政府用戶提供先進(jìn)可靠、高效智能的科學(xué)分析儀器、優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)和基于核心技術(shù)的解決方案。目前已引進(jìn)先進(jìn)的：DENSsolutions TEM原位樣品桿，飛納臺式掃描電鏡，NEOSCAN臺式高分辨顯微 CT，F(xiàn)orgeNano原子層沉積、 Technoorg Linda SEM/TEM樣品制備和VSParticle 納米氣溶膠沉積等設(shè)備。

十年以來，復(fù)納科技賦能中國科研創(chuàng)新、工業(yè)升級，人工智能檢測的使命也越來越清晰。

展開

臺式掃描電鏡，SEM / TEM 樣品制備，ALD 原子層沉積，TEM 原位樣品桿，X 射線顯微 CT

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
儀器種類	光學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時監(jiān)控儀（PFS）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時監(jiān)控儀（PFS），專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā)，支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集，精準(zhǔn)測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng)，幫助客戶實(shí)現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級，為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進(jìn)提供科學(xué)依據(jù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)：

數(shù)據(jù)輸出及可視化：符合 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)
高通量檢測：可檢測低至 0.5 um 顆粒
快速：10 秒完成 2 英寸面積檢測
定量：適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測

生產(chǎn)過程中的一致性測量

快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測

易操作: 操作員簡單培訓(xùn)即可使用

精準(zhǔn): 高分辨率測量（數(shù)量、時間線、位置、尺寸）

一致性: 可重復(fù)的客觀測量結(jié)果

高吞吐量: 現(xiàn)場實(shí)時分析

環(huán)境落塵顆粒實(shí)時監(jiān)控儀（PFS）

監(jiān)測顆粒沉積速率（DPRL）

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實(shí)時監(jiān)控儀（PFS）采用緊湊的工業(yè)設(shè)計(jì)，依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標(biāo)準(zhǔn)，監(jiān)測顆粒沉積速率（DPRL）。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。

在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測

區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒，該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表面的顆粒污染控制和潔凈度驗(yàn)證進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測。亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中，它們可能沉積于關(guān) 鍵表面，影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。

該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒，并可每隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進(jìn)行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5（通過 NIST 認(rèn)證），并準(zhǔn)確量化沉降速率。軟件界面簡單直觀，可以一鍵生成報(bào)告。

Fastmicro PFS 是一款高精度原位檢測顆粒的儀器，幫助工程師應(yīng) 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。

結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡，可以便捷高效的進(jìn)一步對顆粒物進(jìn)行成分表征和溯源分析。