FM-W-PDS 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司
品牌 Fastmicro
型號(hào) FM-W-PDS
產(chǎn)地荷蘭
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/6/3 13:58:13
訪問次數(shù) 362

產(chǎn)品標(biāo)簽

顆粒檢測(cè)

在線交流發(fā)送詢價(jià) 進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

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公司介紹 主營產(chǎn)品

復(fù)納科學(xué)儀器（上海）有限公司（簡稱“復(fù)納科技”）于 2012 年在上海成立，聚焦荷蘭飛納臺(tái)式掃描電鏡在中國市場(chǎng)的推廣和應(yīng)用，涵蓋領(lǐng)域包括材料、鋰電新能源、半導(dǎo)體、生命科學(xué)和法醫(yī)檢測(cè)等。

截止目前，復(fù)納科技服務(wù)超過 2000 家飛納電鏡客戶和 100 家相關(guān)產(chǎn)品客戶，包括：清華大學(xué)、北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué)、上海交通大學(xué)、華南理工大學(xué)和中科院系統(tǒng)等高?？蒲袉挝?；巴斯夫、寧德時(shí)代、微軟、默克和出入境檢驗(yàn)局等企事業(yè)單位。

2017 年開始，復(fù)納科技陸續(xù)與 7 家行業(yè)品牌建立了長期合作，致力于為中國高校、研究所、企業(yè)和政府用戶提供先進(jìn)可靠、高效智能的科學(xué)分析儀器、優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù)和基于核心技術(shù)的解決方案。目前已引進(jìn)先進(jìn)的：DENSsolutions TEM原位樣品桿，飛納臺(tái)式掃描電鏡，NEOSCAN臺(tái)式高分辨顯微 CT，F(xiàn)orgeNano原子層沉積、 Technoorg Linda SEM/TEM樣品制備和VSParticle 納米氣溶膠沉積等設(shè)備。

十年以來，復(fù)納科技賦能中國科研創(chuàng)新、工業(yè)升級(jí)，人工智能檢測(cè)的使命也越來越清晰。

展開

臺(tái)式掃描電鏡，SEM / TEM 樣品制備，ALD 原子層沉積，TEM 原位樣品桿，X 射線顯微 CT

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

產(chǎn)地類別	進(jìn)口	價(jià)格區(qū)間	面議
儀器種類	光學(xué)顆粒計(jì)數(shù)器	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,航空航天,汽車及零部件,綜合

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)

Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)，專為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì)，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測(cè)，也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測(cè)。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(chǎng)（FOV）掃描區(qū)域，支持上下表面檢測(cè)。其光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過程中無需移動(dòng)即可完成檢測(cè)。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制，或直接集成至產(chǎn)線。

生產(chǎn)過程中的一致性測(cè)量

快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)

操作簡便: 不受操作人員影響，自動(dòng)化，潔凈抓取方式

精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量（數(shù)量、位置、尺寸）

一致性: 每次測(cè)量都保持客觀、穩(wěn)定

高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果

晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)（PDS)

FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒

該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及優(yōu)良封裝應(yīng) 用，提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。

該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度，是一種高效且提供服務(wù)的選擇。

它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式，以及較低的維護(hù)成本，取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。

對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用， PDS 系統(tǒng)具備的屬性：雙面同時(shí)掃描（選配）；

靜態(tài)視場(chǎng)掃描（在圖像采集過程中無需移動(dòng)產(chǎn)品）。

多功能模塊化平臺(tái)

系統(tǒng) 可定制，以適應(yīng) 每個(gè) 生產(chǎn) 認(rèn) 證流程，或融入生產(chǎn) 線。其配置包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設(shè)備、用于檢測(cè)和清潔的封裝開啟設(shè)備、填充設(shè)備、機(jī)械臂、檢測(cè)單元以及清潔設(shè)備。

該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測(cè)量模塊也可為系統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商（OEM）提供貼牌服務(wù)。