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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設(shè)備>其它實驗室常用設(shè)備>實驗室廢物處理系統(tǒng)>TH-G3 天恒科儀 HDMS預(yù)處理系統(tǒng)

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TH-G3 天恒科儀 HDMS預(yù)處理系統(tǒng)

參考價 ￥ 50000
訂貨量 ≥1件
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!


 

公司簡介：

我公司已開發(fā)直流、光電、射頻、微波、光波、特殊應(yīng)用定制等全系列常溫、高溫、高低溫、真空環(huán)境探針測試平臺、半導(dǎo)體器件參數(shù)測試系統(tǒng)、光電藕合測試系統(tǒng)、射頻、微波器件測試系統(tǒng)、功率器件高壓、大電流測試系統(tǒng)等產(chǎn)品。

研發(fā)設(shè)計：

經(jīng)過多年的發(fā)展，我公司在精密儀器檢測行業(yè)具有較強(qiáng)的產(chǎn)品競爭力和研發(fā)能力。我們的愿景是成為專業(yè)的精密儀器檢測產(chǎn)品和技術(shù)供應(yīng)商，打造的高精尖精密儀器研發(fā)制造基地。

解決方案：

天恒科儀從公司成立之初始終把研發(fā)部做為公司核心的一個部門之一，引進(jìn)專業(yè)的PDM管理系統(tǒng)進(jìn)行研發(fā)部管理。研發(fā)團(tuán)隊定期參加行業(yè)舉辦的各項技術(shù)交流活動，以此推動研發(fā)部研發(fā)出創(chuàng)新技術(shù)和高品質(zhì)的產(chǎn)品。

 

主營集成系統(tǒng)、探針臺、示波器、邏輯分析儀、半導(dǎo)體/光電分析平臺及定制測試方案供應(yīng)商

產(chǎn)地類別 國產(chǎn)

本設(shè)備適用于在涂膠前對品片進(jìn)行預(yù)處理設(shè)備由腔體、真空、加熱、充氮、加液及控制等系統(tǒng)組成通過多次預(yù)抽真空,熱氮加熱,既能達(dá)到使硅片表面干燥、潔凈的效果,又能夠有效的防止硅片的氧化和雜質(zhì)的擴(kuò)散,并且可以通過加液系統(tǒng)在硅片表面開成HDMS保護(hù)膜，從而使硅片具有良好的涂膠性能和手工涂布HMDS相比,具有重復(fù)性好,節(jié)省藥液,環(huán)保,對人體無害的顯著優(yōu)點;也可用于品片其它工藝的清洗控制采用PLC,人機(jī)界面采用觸摸屏,具有可靠性高,操作方便、直觀等特點

整機(jī)尺寸:600*620*1260mm

真空腔尺寸:450*450*400mm

真空泵:2X2-4機(jī)械泵

腔體溫度:室溫+50°C-160°C 可調(diào)

設(shè)備控制:plc、觸控

控制方式:手動/自動

生產(chǎn)能力:每小時200片(2”)或50片(4”)

熱板功率:1.5KW

設(shè)備功率:2KW

電源輸入:AC220V

在HMDS工藝之前有和沒有脫水的HMDS涂覆表面的行為




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