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蘇州半導(dǎo)體晶圓清洗設(shè)備廠家 芯矽科技
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
- 公司名稱(chēng) 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號(hào)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/30 15:02:12
- 訪問(wèn)次數(shù) 47
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| 非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶(hù)需求定制 |
|---|
芯矽科技是一家專(zhuān)注于半導(dǎo)體清洗設(shè)備的企業(yè)，總部位于蘇州。公司以自主技術(shù)研發(fā)為核心，致力于為國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體制造商提供高精度、高可靠性的晶圓清洗解決方案，產(chǎn)品覆蓋前道制程（如光刻、蝕刻后清洗）和后道封裝環(huán)節(jié)，適配8英寸至12英寸晶圓需求。
核心產(chǎn)品與技術(shù)
晶圓清洗設(shè)備
納米級(jí)潔凈控制：針對(duì)制程（如FinFET、GAA）中的微小顆粒、金屬污染及EUV光刻膠殘留，提供低損傷清洗方案。
智能化系統(tǒng)：支持PLC或觸摸屏編程，參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)控（如溫度、流量、pH值），數(shù)據(jù)可追溯，符合工業(yè)4.0標(biāo)準(zhǔn)。
高效產(chǎn)能：?jiǎn)闻_(tái)設(shè)備每小時(shí)處理量可達(dá)120片以上（12寸晶圓），兼容自動(dòng)化上下料（如機(jī)械臂對(duì)接）。
技術(shù)路線(xiàn)：采用超聲波清洗、化學(xué)噴淋、刷洗（可選）及干燥（離心/氮?dú)獯祾撸?fù)合工藝，可定制化搭配不同清洗模塊。
特色功能：
技術(shù)優(yōu)勢(shì)
精準(zhǔn)均勻性：噴淋臂與超聲波場(chǎng)設(shè)計(jì)優(yōu)化，確保晶圓表面清洗一致性，尤其適用于復(fù)雜圖案化晶圓。
環(huán)保節(jié)能：封閉式液體循環(huán)系統(tǒng)減少化學(xué)耗液量，廢液分類(lèi)回收率達(dá)90%以上，符合綠色制造要求。
本土化服務(wù)：依托蘇州產(chǎn)業(yè)鏈優(yōu)勢(shì)，快速響應(yīng)客戶(hù)需求，提供設(shè)備定制、工藝調(diào)試及售后支持。
應(yīng)用領(lǐng)域
前道清洗：光刻膠去除、蝕刻后殘留清洗、沉積前表面預(yù)處理等。
后道清洗：封裝前的晶圓背面清潔、切割前邊緣污染物清理等。
特殊場(chǎng)景：再生晶圓修復(fù)、化合物半導(dǎo)體（如GaN、SiC）清洗等定制化需求。
芯矽科技憑借自主可控的技術(shù)、本土化服務(wù)及高性?xún)r(jià)比產(chǎn)品，成為國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備領(lǐng)域的新興力量，為12寸制程及特色工藝需求提供可靠支撐，推動(dòng)中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展。
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