半導(dǎo)體芯片清洗機(jī) 芯矽科技
| 參考價(jià) | ￥ 10000 |
| 訂貨量 | ≥1臺(tái) |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
- 品牌 芯矽科技
- 型號
- 產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/2 10:44:29
- 訪問次數(shù) 49
產(chǎn)品標(biāo)簽
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| 非標(biāo)定制 | 根據(jù)客戶需求定制 |
|---|
半導(dǎo)體芯片清洗機(jī)是晶圓制造過程中的關(guān)鍵設(shè)備，用于去除硅片表面的氧化層、顆粒污染物、金屬殘留及有機(jī)雜質(zhì)，確保芯片在光刻、蝕刻、沉積等工藝中的高精度與可靠性。其核心功能包括：
化學(xué)蝕刻：通過緩沖氧化蝕刻液（BOE）精準(zhǔn)去除SiO?等氧化層，避免損傷硅基底；
顆粒與金屬清洗：利用RCA標(biāo)準(zhǔn)液或稀釋HF溶液，結(jié)合超聲波或噴淋技術(shù)，清除納米級顆粒（<0.1μm）及Na?、Fe3?等金屬污染；
表面鈍化：形成氫終止表面，減少后續(xù)氧化風(fēng)險(xiǎn)，提升薄膜附著力；
自動(dòng)化控制：集成溫度、濃度、流速的實(shí)時(shí)監(jiān)測，支持多尺寸晶圓（4-12英寸）高效處理，良率可達(dá)99.9%以上。
該設(shè)備采用模塊化設(shè)計(jì)，涵蓋預(yù)處理、蝕刻、漂洗、干燥（如IPA蒸干+氮?dú)獯祾撸┑热鞒?，兼容制程（如FinFET、GAA結(jié)構(gòu)）對低k材料和微小結(jié)構(gòu)的清潔需求。通過智能化程序控制與數(shù)據(jù)追溯，顯著提升生產(chǎn)效率，降低缺陷率，為芯片電性能與長期可靠性提供核心保障。
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