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RTP-100 德國UniTemp真空快速退火爐

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    深圳市宏騰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料、器件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的供應(yīng)商。深圳市宏騰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司所服務(wù)的客戶覆蓋高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。

  主要產(chǎn)品包括:一、鍍膜設(shè)備:電子束蒸發(fā)、分子束外延、原子層沉積系統(tǒng)、化學(xué)沉積設(shè)備、激光脈沖沉積、光浮區(qū)爐

二、測試設(shè)備:霍爾效應(yīng)測試儀、鐵電測試儀、低溫探針臺(tái) 、開爾文探針、深能級(jí)瞬態(tài)譜儀

三、工藝設(shè)備:快速退火爐、回流焊爐、共晶爐、離子注入機(jī)、光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、刻蝕機(jī)

四、封裝設(shè)備:半自動(dòng)劃片機(jī)、裂片機(jī)、貼片機(jī)、鍵合機(jī)

五、分析測試設(shè)備:

          1)形貌表征:原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、掃描透射電鏡,球差電鏡等;

           2)原子結(jié)構(gòu):低能電子衍射、反射式高能電子衍射、X射線衍射等;

           3)化學(xué)分析:X射線光電子能譜、俄歇電子能譜、二次離子質(zhì)譜等;

           4)原子/電子態(tài):電子能量損失譜、紫外光電子譜、紅外譜、拉曼譜,角分辨光電子能譜等。

六、磁性測量:綜合物性測量儀、軟硬磁測量系統(tǒng)、振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)

  主營業(yè)務(wù):1.微電子中試線和實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃、設(shè)備選型、layout設(shè)計(jì)及咨詢。

          2.真空鍍膜、測試設(shè)備互連系統(tǒng)定制化(原位)。

          3.光電表征設(shè)備國產(chǎn)化:NAP-XPS、PEEM、NAP-STM及ARPES等。

          4.設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)、維修及改造。

          5.實(shí)驗(yàn)室整體搬遷及儀器調(diào)試。

          6.微電子工藝、測試、表征設(shè)備研發(fā)和銷售。

         微電子及半導(dǎo)體客戶一站式服務(wù)!






半導(dǎo)體設(shè)備、真空鍍膜、測試設(shè)備互連系統(tǒng)定制化;光電表征設(shè)備國產(chǎn)化:NAP-XPS、PEEM、PPMS、NAP-STM及EBL等

RTP-200快速退火爐為德國優(yōu)尼坦公司生產(chǎn),分為RTP-100,RTP-150,RSO-200,VPO-300共四個(gè)型號(hào),分別對(duì)應(yīng)4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火爐產(chǎn)品。

8寸快速退火爐/德國UniTemp技術(shù)規(guī)格:

- 溫度:1200攝氏度;

- 升溫速率:150攝氏度/秒;

- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);

- 溫控均勻性:≤1.5%設(shè)定溫度;

- 加熱方式:紅外鹵素?zé)簦敳考暗撞考訜幔?/p>

- 燈管數(shù)量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);

- 腔體冷卻:水冷方式;

- 襯底冷卻:氮?dú)獯祾撸?/p>

- 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮?dú)?、氬氣、氧氣、氫氮混合氣?;

- 主機(jī)尺寸及重量:505mmx504mmx420mm (WxDxH),約55Kg。

8寸快速退火爐/德國UniTemp特點(diǎn):

- 真空快速退火爐,有低真空型號(hào)(10-3hPa)、高真空型號(hào)(10-6hPa);

- 可在不同氣氛環(huán)境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;

- 控制方式:SIMATIC,SPS人機(jī)界面控制,7英寸觸摸屏;

- 可存儲(chǔ)50個(gè)程序,每個(gè)程序最多分為50段控制;

- 全自動(dòng)智能控制,包括溫度、時(shí)間、氣體流量、真空度、循環(huán)水均可自動(dòng)設(shè)置;

- 優(yōu)異的溫控均勻性,工藝重現(xiàn)性;

- 小尺寸臺(tái)式設(shè)計(jì)。

應(yīng)用領(lǐng)域:

- 離子注入/接觸退火;

- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環(huán)境下使用;

- SiAu,SiAl,SiMo合金化;

- 低介電材料;

- 晶體化,致密化;

- 太陽能電池片鍵合。



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