AS-One 100 法國Annealsys 快速退火爐
- 公司名稱 深圳市宏騰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) AS-One 100
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/7/28 21:50:35
- 訪問次數(shù) 16
聯(lián)系我們時(shí)請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
半導(dǎo)體設(shè)備、真空鍍膜、測試設(shè)備互連系統(tǒng)定制化;光電表征設(shè)備國產(chǎn)化:NAP-XPS、PEEM、PPMS、NAP-STM及EBL等
AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào): AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)
該快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價(jià)比高。
該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì),可*進(jìn)入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實(shí)際清潔腔體
快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。
特征: | |
基本尺寸: | Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 Small substrates using susceptors |
工藝腔體 | 運(yùn)用不銹鋼冷腔室壁技術(shù) |
溫度范圍 | 標(biāo)準(zhǔn)配置:高達(dá)到1250°C 高溫配置:高達(dá)到1450°C |
溫度控制 | 標(biāo)準(zhǔn)配置:熱電偶和高溫計(jì)用來測量溫度 快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制 |
真空和氣體 | 多可達(dá)5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體 |
電腦控制 | 全PC電腦控制,每個(gè)配方多100步驟 全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機(jī)界面設(shè)計(jì) |
選項(xiàng): | |
石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件
| |
應(yīng)用 |