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AS-One 100 法國Annealsys 快速退火爐

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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    深圳市宏騰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司是一家專業(yè)的微納材料、半導(dǎo)體和微電子材料、器件研發(fā)及技術(shù)服務(wù)的供應(yīng)商。深圳市宏騰半導(dǎo)體技術(shù)有限公司所服務(wù)的客戶覆蓋高校、研究所、以及半導(dǎo)體和微電子領(lǐng)域的高科技企業(yè)。

  主要產(chǎn)品包括:一、鍍膜設(shè)備:電子束蒸發(fā)、分子束外延、原子層沉積系統(tǒng)、化學(xué)沉積設(shè)備、激光脈沖沉積、光浮區(qū)爐

二、測試設(shè)備:霍爾效應(yīng)測試儀、鐵電測試儀、低溫探針臺(tái) 、開爾文探針、深能級(jí)瞬態(tài)譜儀

三、工藝設(shè)備:快速退火爐、回流焊爐、共晶爐、離子注入機(jī)、光刻機(jī)、電子束光刻機(jī)、刻蝕機(jī)

四、封裝設(shè)備:半自動(dòng)劃片機(jī)、裂片機(jī)、貼片機(jī)、鍵合機(jī)

五、分析測試設(shè)備:

          1)形貌表征:原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、掃描透射電鏡,球差電鏡等;

           2)原子結(jié)構(gòu):低能電子衍射、反射式高能電子衍射、X射線衍射等;

           3)化學(xué)分析:X射線光電子能譜、俄歇電子能譜、二次離子質(zhì)譜等;

           4)原子/電子態(tài):電子能量損失譜、紫外光電子譜、紅外譜、拉曼譜,角分辨光電子能譜等。

六、磁性測量:綜合物性測量儀、軟硬磁測量系統(tǒng)、振動(dòng)樣品磁強(qiáng)計(jì)

  主營業(yè)務(wù):1.微電子中試線和實(shí)驗(yàn)室規(guī)劃、設(shè)備選型、layout設(shè)計(jì)及咨詢。

          2.真空鍍膜、測試設(shè)備互連系統(tǒng)定制化(原位)。

          3.光電表征設(shè)備國產(chǎn)化:NAP-XPS、PEEM、NAP-STM及ARPES等。

          4.設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)、維修及改造。

          5.實(shí)驗(yàn)室整體搬遷及儀器調(diào)試。

          6.微電子工藝、測試、表征設(shè)備研發(fā)和銷售。

         微電子及半導(dǎo)體客戶一站式服務(wù)!






半導(dǎo)體設(shè)備、真空鍍膜、測試設(shè)備互連系統(tǒng)定制化;光電表征設(shè)備國產(chǎn)化:NAP-XPS、PEEM、PPMS、NAP-STM及EBL等

AS-One系統(tǒng)有兩種型號(hào): AS-One 100 系統(tǒng)或AS-One 150 系統(tǒng)

快速退火爐是專門為滿足大學(xué)、研究實(shí)驗(yàn)室和小規(guī)模生產(chǎn)的需求而研制的,高可靠且性價(jià)比高。

 

該工藝室采用貝殼式設(shè)計(jì),可*進(jìn)入底板,方便裝載和卸載基板,并允許實(shí)際清潔腔體

 

快速數(shù)字PID溫度控制器在整個(gè)溫度范圍內(nèi)提供精確和可重復(fù)的熱控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直徑100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直徑150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工藝腔體運(yùn)用不銹鋼冷腔室壁技術(shù)
溫度范圍標(biāo)準(zhǔn)配置:高達(dá)到1250°C

高溫配置:高達(dá)到1450°C

溫度控制

標(biāo)準(zhǔn)配置:熱電偶和高溫計(jì)用來測量溫度

快速數(shù)字PID溫度控制器在可獲得精確的和可重復(fù)的熱控制

真空和氣體多可達(dá)5路帶MFC的工藝氣體,一路清潔氣體
電腦控制

全PC電腦控制,每個(gè)配方多100步驟

全數(shù)據(jù)記錄與處理歷史的人機(jī)界面設(shè)計(jì)

選項(xiàng):

石墨托盤/碳化硅涂層托盤/粗真空泵和渦輪泵/快速冷卻系統(tǒng)/其他套件

 

 

應(yīng)用

 法國Annealsys 快速退火爐


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