SCP-8C 全柜式旋轉(zhuǎn)涂布機

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 藝微勝科技（上海）有限公司
品牌 藝微勝
型號 SCP-8C
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/8/21 14:37:24
訪問次數(shù) 145

產(chǎn)品標簽

全自動旋涂系統(tǒng)

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公司介紹 主營產(chǎn)品

藝微勝科技（EWIN-TECH）位于上海臨港新片區(qū)的張江科技港，這里是張江與臨港兩大科創(chuàng)高地交匯的核心區(qū)域，匯聚了集成電路、人工智能等前沿產(chǎn)業(yè)的重要資源。臨港自貿(mào)區(qū)作為國家新質(zhì)生產(chǎn)力的重要承載地，以其有力的政策支持、完善的產(chǎn)業(yè)生態(tài)和國際化的發(fā)展環(huán)境，為企業(yè)提供了強大的發(fā)展動能。依托這一顯著的區(qū)位優(yōu)勢，藝微勝科技深度融入?yún)^(qū)域創(chuàng)新生態(tài)，持續(xù)推動技術(shù)突破與產(chǎn)業(yè)升級。

作為一家專注于新能源與半導體領(lǐng)域的創(chuàng)新解決方案服務(wù)商，藝微勝科技以“科技為動力，創(chuàng)新為使命，共贏為目標”，致力于為客戶提供優(yōu)質(zhì)的設(shè)備研發(fā)與技術(shù)方案。我們的核心業(yè)務(wù)涵蓋鋰電、氫電、光電及半導體等行業(yè)精密儀器研發(fā)，原位表征系統(tǒng)集成、智能化方案定制等業(yè)務(wù)流，廣泛應(yīng)用于新能源研發(fā)、半導體制造等領(lǐng)域。憑借硬科技團隊（博士/碩士占比60%）十年以上的行業(yè)技術(shù)沉淀，我們可以為客戶提供從設(shè)備供應(yīng)到系統(tǒng)優(yōu)化的一站式閉環(huán)服務(wù)。

面向未來，藝微勝科技將進一步聚焦智能、原位、多維集成化的發(fā)展方向，推動核心設(shè)備技術(shù)升級與自主創(chuàng)新，賦能行業(yè)邁向更高質(zhì)量的發(fā)展，為廣大客戶創(chuàng)造更高價值。

展開

固態(tài)電解質(zhì)/隔膜離子電導率全自動測試系統(tǒng)

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▍產(chǎn)品簡介

SCP-8C 全柜式旋轉(zhuǎn)涂布機 專為中試階段及高精度研發(fā)應(yīng)用設(shè)計，支持最大 8 英寸晶圓處理，結(jié)構(gòu)采用全不銹鋼一體化機柜式設(shè)計，整合旋涂、噴膠、邊膠去除（EBR）、底膠清洗（BSR）等功能模塊。系統(tǒng)配備 AC 伺服馬達、PTFE 內(nèi)腔、防滲漏吸盤結(jié)構(gòu)及 FFU 空氣凈化裝置，全面優(yōu)化涂膠工藝的穩(wěn)定性、均勻性與重復性。適用于半導體、光電子、微納加工等對涂層一致性要求較高的應(yīng)用場景。

▍技術(shù)特點

1.高穩(wěn)定性旋涂平臺：伺服電機驅(qū)動，轉(zhuǎn)速范圍 20~5000 rpm，精度 ±1 rpm，支持最高 10000 rpm/s 加速度，適配各類涂膠工藝。

2.多種基片兼容：標配 8 英寸與 6 英寸吸盤，支持多規(guī)格晶圓處理，適應(yīng)不同實驗/中試場景。

3.精準噴膠系統(tǒng)：集成三種噴膠模塊（Photoresist、EBR、BSR），搖臂位置與速度可編程調(diào)控，提升膠液利用率與邊緣一致性。

4.智能控制系統(tǒng)：采用 PLC 控制 + 觸控界面，支持多達 50 組配方，每組最多 20 步，滿足復雜工藝流程設(shè)定。

5.優(yōu)異涂膜均勻性：旋涂均勻性 ≤±2%，確保薄膜厚度一致性，提升后續(xù)光刻及蝕刻工藝良率。

6.安全與潔凈并重：具備晶圓承盤真空滲液保護、光阻液過濾系統(tǒng)與內(nèi)置 FFU 空氣凈化系統(tǒng)，保障工藝安全性與潔凈環(huán)境。

▍技術(shù)參數(shù)

全柜式旋轉(zhuǎn)涂布機

▍典型應(yīng)用

SCP-8C 全柜式旋轉(zhuǎn)涂布機 適用于各類對涂層厚度與均勻性要求嚴格的研發(fā)及中試應(yīng)用，廣泛用于半導體前道工藝中的光刻膠旋涂、光電子與 MEMS 器件中的感光材料涂布、柔性電子與先進封裝中的薄膜/厚膜處理，以及微納結(jié)構(gòu)制造、精密材料開發(fā)等科研場景，為精密制程提供穩(wěn)定可靠的涂布支持。