H52-8-SV1/ZF全自動(dòng)勻膠機(jī)
- 公司名稱 捷盛電子技術(shù)有限責(zé)任公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 西安捷盛電子技術(shù)有限責(zé)任公司
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2017/7/22 9:32:26
- 訪問(wèn)次數(shù) 2671
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H52-8-SV1/ZF全自動(dòng)勻膠機(jī)
自動(dòng)勻膠機(jī) 勻膠機(jī)
SV系列晶片處理系統(tǒng)片盒到片盒的全自動(dòng)工作方式工藝工步:送片盒→涂膠顯影到→ 熱板烘烤→收片盒托盤(pán)傳送方式,安全、可靠液晶顯示界面,具有編程、運(yùn)行、服務(wù)等功能具有完善的故障診斷和自診斷功能 PWM伺服調(diào)速系統(tǒng)調(diào)速,轉(zhuǎn)速范圍,加速度高顯影時(shí)間可控、壓力可調(diào)滴膠量可控具有顯影時(shí)防漏滴設(shè)計(jì),*消除漏滴具有清洗、吹氮等功能
主要技術(shù)規(guī)格:
1、晶片尺寸:2˝或3˝
2、轉(zhuǎn)速:200—8000RPM(轉(zhuǎn)/分),精度±10RPM 增量:1RPM
3、主軸zui大加速度:40000RPM/s(只對(duì)涂膠機(jī))
4、顯影液溫度控制:5℃~50℃,精度±1.5℃
5、高壓噴洗壓力:6.6~20.4Mpa
6、可靠性:MTBF》150h MTTR《2h
7、工藝工步時(shí)間:999.9秒,增量0.1秒
8、外形尺寸(L×B×H):900mm×340mm×930mm
9、重量:~300公斤
10、電源條件:115Vac±10%、50Hz
11、供氮?dú)鈼l件:》0.3Mpa,純度99.99%,外接外徑為Φ6mm,內(nèi)徑為Φ4mm氮?dú)夤?
12、供真空條件:總抽氣量120m3/min,真空度為-0.085Mpa, 外接管徑為:外徑Φ6mm 、內(nèi)徑Φ4mm
13、排氣:抽氣量2.83m3/min
14、排氣管徑為Φ100mm,以上11~14為單機(jī)所需條件
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